检测项目

1.轴向放大率偏差：测量实际值与标称值的差异范围（0.5μm）
2.轴向位移误差：评估光轴偏移量（≤0.3%FOV）
3.焦平面一致性：多波长下焦深变化量（2μm）
4.畸变校正率：径向/切向畸变补偿精度（RMS≤0.05λ）
5.材料折射率梯度：轴向折射率变化量（Δn≤510⁻⁵）

检测范围

1.光学透镜：包括球面/非球面透镜、柱面镜
2.显微物镜：生物显微镜/金相显微镜用高倍物镜
3.工业镜头：机器视觉FA镜头、远心镜头
4.光纤耦合器：保偏光纤准直器、WDM器件
5.投影光路系统：光刻机照明模块、DLP投影模组

检测方法

1.激光干涉法：ASTME1951-14测量波前畸变
2.双频激光测距：ISO10360-7轴向位置校准
3.白光干涉术：GB/T9247-2008表面形貌分析
4.共焦显微术：ISO25178-602三维轮廓重建
5.莫尔条纹法：GB/T13962-2009几何量计量

检测设备

1.ZYGOVerifireHD激光干涉仪：波长632.8nm，PV精度λ/100
2.MitutoyoMF-U1000超景深显微镜：最大倍率5000X
3.BrukerContourElite光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm
4.KeyenceLT-9010M激光位移计：采样频率392kHz
5.TriopticsOptiCentric双光路测试台：偏心测量精度1μm
6.OlympusOLS5000共焦显微镜：Z轴重复性0.012μm
7.Agilent5530动态校准仪：线性精度0.2ppm
8.NikonNEXIVVM-500影像测量仪：解析度0.001μm
9.ThorlabsBE10X光束分析仪：CCD像素尺寸4.4μm
10.TaylorHobsonTalyrond585LT圆度仪：轴向误差0.025μm