检测项目

1.线性位移精度：测量范围0.1-5000mm，分辨率0.5μm/m
2.重复定位误差：最大允许偏差≤3σ（σ=0.8μm）
3.温度漂移系数：补偿范围-20℃~+60℃，灵敏度0.02μm/℃
4.多轴同步偏差：XYZ三轴协同误差≤1.2arcsec
5.动态响应频率：采样率≥10kHz，带宽DC-500Hz

检测范围

1.金属加工件：数控机床导轨、精密轴承套圈
2.复合材料层压板：碳纤维航空构件厚度一致性
3.半导体晶圆：光刻机平台步进精度
4.光学元件：非球面透镜曲率半径偏差
5.柔性电子器件：折叠屏转轴铰链间隙

检测方法

1.激光干涉法：ISO10360-2:2009几何量测量系统验证
2.电容位移传感：ASTME2848-13非接触式测量规范
3.光栅尺闭环校准：GB/T17421.2-2016机床检验通则
4.白光共焦扫描：DINENISO25178-602表面形貌测定
5.激光跟踪多边测量：JJF1356-2012大尺寸测量系统检定

检测设备

1.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm
2.KeyenceLK-G5000光栅位移计：0.1nm分辨率
3.HexagonLeitzPMM-CInfinity三坐标机：带HP-O扫描探头
4.ZygoNewView9000白光轮廓仪：垂直分辨率0.1nm
5.APIXDLaser六维激光跟踪仪：动态角度精度15μm+5μm/m
6.MitutoyoLH-600测长机：最大量程600mm，U=0.2μm
7.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：500m/s量程
8.OGPSmartScopeFlash302多传感器系统：复合式影像测量
9.SIOSSP-2000纳米定位平台：0.02nm闭环控制
10.NikonNEXIVVMZ-S656T视频测量仪：500倍光学变焦