检测项目

1.曲率半径误差：测量范围500mm，分辨率0.1μm
2.表面粗糙度：Ra0.01-25μm，Rz0.05-100μm
3.材料均匀性：密度偏差≤0.05%，热膨胀系数波动5%
4.几何公差：平面度≤λ/20（λ=632.8nm），圆度误差0.1-50μm
5.光学畸变：波前误差RMS值≤λ/50，像散系数0.1-5mrad

检测范围

1.光学透镜及反射镜组件
2.精密轴承与机械传动部件
3.MEMS微机电系统器件
4.半导体晶圆及封装基板
5.航空航天复合材料结构件

检测方法

1.ASTME284-17表面粗糙度白光干涉测量法
2.ISO10110-5:2015光学元件面形误差评价规范
3.GB/T1800.1-2020产品几何技术规范(GPS)基础标准
4.ISO12181-1:2011圆度测量三坐标法实施规程
5.GB/T3505-2021表面结构轮廓法术语定义体系

检测设备

1.TaylorHobsonPGI1240非接触式三维轮廓仪（分辨率0.1nm）
2.ZygoVerifireMST激光干涉仪（测量口径Φ600mm）
3.MitutoyoCMM-CrystaPlusM7106三坐标测量机（空间精度0.6+L/400μm）
4.BrukerContourGT-K1白光干涉表面形貌仪（垂直分辨率0.01nm）
5.KeyenceVR-6000三维扫描测量系统（点距精度0.3μm）
6.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜（放大倍率10800）
7.RenishawXL-80激光干涉测量系统（线性测量精度0.5ppm）
8.HexagonAbsoluteArm7525SI便携式测量臂（空间精度15μm）
9.PanasonicUA3P超精密形状测量仪（重复精度10nm）
10.NikonNEXIVVM-300SCNC影像测量系统（二维尺寸解析力1μm）