检测项目

1.镜面反射率（250-2500nm波段范围0.5%）
2.偏振特性（s/p偏振分离度≥30dB）
3.入射角响应（5-85连续可调0.1）
4.波长依赖性（光谱分辨率≤1nm）
5.表面均匀性（Φ100mm范围内≤1.5%）

检测范围

1.光学薄膜（增透膜/反射膜/分光膜）
2.金属表面涂层（铝/银/金镀层）
3.半导体晶圆（硅/砷化镓/氮化镓基片）
4.高分子光学材料（PC/PMMA基材）
5.陶瓷复合材料（氧化铝/氮化硅基材）

检测方法

1.ASTME903-2012材料太阳吸收率与反射率测试
2.ISO13696-2002光学元件散射特性测定
3.GB/T26331-2010光学薄膜光谱特性测试
4.ISO15368-2001光学元件表面反射相位测量
5.GB/T31370-2015半导体材料光学参数测试

检测设备

1.PerkinElmerLambda1050分光光度计（200-3300nm全波段测量）
2.HoribaJobinYvonUVISEL2相位调制椭偏仪（0.01相位分辨率）
3.AgilentCary7000全能型分光光度计（5-85入射角调节）
4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪（0.1nm垂直分辨率）
5.ShimadzuISR-2600积分球系统（Φ150mm高精度积分球）
6.ZygoVerifireMST激光干涉仪（λ/100波前精度）
7.OceanInsightFX系列光纤光谱仪（350-1050nm快速测量）
8.NewportOrielSol3A太阳模拟器（AM1.5G光谱匹配度5%）
9.J.A.WoollamM-2000V宽谱椭偏仪（190-1700nm全自动测量）
10.ThermoScientificNicoletiS50FTIR光谱仪（中远红外反射分析）