检测项目

1.漏率测试：量化泄漏速率（10⁻3~10⁻12Pam/s）

2.压力衰减测试：监测系统压降（ΔP≤1%初始值/小时）

3.氦质谱检漏：灵敏度达510⁻12Pam/s

4.气密性验证：保压时间≥30min（真空度≤110⁻4Pa）

5.渗透率分析：气体渗透系数≤110⁻15cmcm/cmsPa

检测范围

1.金属密封件（法兰/焊接接头/阀门）

2.高分子材料容器（PE/PP/PET真空包装）

3.真空镀膜设备（磁控溅射/PECVD腔体）

4.半导体晶圆传输系统（Loadlock/TransferModule）

5.低温超导装置（液氦杜瓦/超导磁体密封层）

检测方法

ASTME493-22：静态升压法真空系统泄漏测试规程

ISO20486:2017：氦质谱检漏仪校准规范

GB/T32291-2015：真空技术漏率测量方法

ASTME1603-19：压力变化法泄漏测试标准

GB4208-2017：外壳防护等级（IP代码）气密性试验

检测设备

1.INFICONUL1000氦质谱检漏仪（灵敏度510⁻12Pam/s）

2.LeyboldPHOENIXL300i真空检漏系统（集成氦回收模块）

3.AgilentVS系列电容薄膜真空计（量程110⁻4~1000Torr）

4.PfeifferHLT260检漏仪（双通道质谱分析功能）

5.EdwardsTIC系列涡轮分子泵组（极限真空≤510⁻7Pa）

6.MKS925型微差压传感器（分辨率0.001%FS）

7.Varian979系列电离规（测量范围110⁻10~110⁻3Torr）

8.ShimadzuGP-100气体渗透测试仪（符合ISO15105标准）