检测项目
1.漏率测试：量化泄漏速率（10⁻3~10⁻12Pam/s）
2.压力衰减测试：监测系统压降（ΔP≤1%初始值/小时）
3.氦质谱检漏：灵敏度达510⁻12Pam/s
4.气密性验证：保压时间≥30min（真空度≤110⁻4Pa）
5.渗透率分析：气体渗透系数≤110⁻15cmcm/cmsPa
检测范围
1.金属密封件（法兰/焊接接头/阀门）
2.高分子材料容器（PE/PP/PET真空包装）
3.真空镀膜设备（磁控溅射/PECVD腔体）
4.半导体晶圆传输系统（Loadlock/TransferModule）
5.低温超导装置（液氦杜瓦/超导磁体密封层）
检测方法
ASTME493-22：静态升压法真空系统泄漏测试规程
ISO20486:2017：氦质谱检漏仪校准规范
GB/T32291-2015：真空技术漏率测量方法
ASTME1603-19：压力变化法泄漏测试标准
GB4208-2017：外壳防护等级（IP代码）气密性试验
检测设备
1.INFICONUL1000氦质谱检漏仪（灵敏度510⁻12Pam/s）
2.LeyboldPHOENIXL300i真空检漏系统（集成氦回收模块）
3.AgilentVS系列电容薄膜真空计（量程110⁻4~1000Torr）
4.PfeifferHLT260检漏仪（双通道质谱分析功能）
5.EdwardsTIC系列涡轮分子泵组（极限真空≤510⁻7Pa）
6.MKS925型微差压传感器（分辨率0.001%FS）
7.Varian979系列电离规（测量范围110⁻10~110⁻3Torr）
8.ShimadzuGP-100气体渗透测试仪（符合ISO15105标准）