暗场法检测

检测项目

1.表面粗糙度：Ra值范围0.01-10μm的定量分析

2.晶粒尺寸：金属材料晶界宽度50nm-5μm测量

3.微裂纹检测：长度≥1μm的线性缺陷识别

4.涂层均匀性：厚度偏差≤5%的薄膜评估

5.污染物颗粒：粒径≥0.3μm的异物定位统计

检测范围

金属材料：铝合金轧制板材、钛合金锻件、铜基复合材料

半导体器件：硅晶圆表面抛光片、GaN外延层、光刻胶图形

高分子材料：PET薄膜表面缺陷、注塑件熔接线分析

陶瓷基体：氧化锆齿科修复体表面微孔、碳化硅密封环划痕

光学元件：透镜镀膜均匀性、棱镜抛光面亚表层损伤

检测方法

ASTME766-14(2020)：表面形貌特征标准化测量规程

ISO10934:2006：光学显微镜暗场照明系统校准规范

GB/T34879-2017：微纳米尺度表面缺陷检测通用要求

ISO25178-604:2013：非接触式光学显微系统计量特性

GB/T39489-2020：透明材料表面微缺陷检测方法

检测设备

OlympusBX53M工业显微镜：配备MXPLN系列暗场物镜（50/100），分辨率达0.15μm

ZeissAxioImager.M2m：配置Colibri7LED光源系统，支持多角度暗场照明切换

KeyenceVHX-7000数字显微镜：集成三维拼接功能，最大倍率5000

LeicaDM8000M冶金显微镜：搭配DFC450相机，支持高温样品暗场观察

NikonEclipseLV150NL：配置LUNV暗场聚光器，工作距离达30mm

BrukerContourGT-X3：白光干涉仪结合暗场模块，三维形貌分辨率0.1nm

HitachiTM4000Plus桌面电镜：二次电子/背散射电子双模式暗场成像

MitutoyoQV-302PRO：电动变倍系统（20-2000），内置环形LED暗场光源

ShimadzuAIM-9000：红外暗场显微镜（波长范围1.5-25μm），用于有机材料分析

HiroxRH-20003D显微系统：配备MXG-5040RZ镜头组，支持360环形暗场照明

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"暗场法检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。