检测项目
1.热稳定性测试:测量材料在200-1500℃温度范围内的相变阈值(0.5℃精度)
2.光吸收率分析:采用532nm/1064nm双波长系统测定吸收系数(精度0.02%)
3.光致发光效率:量化300-1100nm波段内量子产率(分辨率0.1nm)
4.损伤阈值测定:记录10ns脉宽下1-100J/cm能量密度的破坏临界值
5.表面形貌表征:通过AFM扫描获取Ra≤0.5nm级表面粗糙度数据
检测范围
1.半导体材料:GaN、SiC等第三代半导体晶圆(直径≤200mm)
2.光学镀膜:AR/HR膜系(厚度50-500nm)
3.激光陶瓷:Nd:YAG透明陶瓷(Φ10-50mm)
4.高分子复合材料:PI基耐高温涂层(厚度10-200μm)
5.金属合金涂层:AlSi10Mg激光熔覆层(硬度HRC20-60)
检测方法
1.ASTME1445-08(2020):激光功率密度分布测试规范
2.ISO13695:2004:激光光谱特性表征方法
3.GB/T26179-2010:光辐射安全测量通则
4.ISO11145:2018:激光器参数定义与测试方法
5.GB/T31359-2015:激光诱导损伤阈值测试标准
检测设备
1.OceanOpticsHR4000CG-UV-NIR光谱分析仪(200-1100nm波长范围)
2.OphirVega激光功率计(最大功率300W/精度1.5%)
3.NetzschSTA449F3同步热分析仪(最高1600℃/μN级灵敏度)
4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪(垂直分辨率0.1nm)
5.CoherentMiraHP飞秒激光器(脉宽<100fs/重复频率80MHz)
6.HamamatsuC12702-11光电倍增管系统(响应时间2ns)
7.KeysightN9030B频谱分析仪(26.5GHz带宽)
8.ZygoNewView9000干涉仪(λ/1000波面精度)
9.ShimadzuAIM-9000红外显微镜(15μm空间分辨率)
10.RenishawinViaQontor共聚焦拉曼系统(532/785/1064nm三波长)