检测项目
散射系数(Scattering Coefficient):测量波长范围380-2500nm,分辨率≤0.1%
表面粗糙度(Surface Roughness):Ra值检测范围0.1nm-10μm,符合ISO 4287-1997
折射率分布(Refractive Index Profile):检测精度±0.0005,空间分辨率10μm
透射/反射散射(Transmissive/Reflective Scattering):角度分辨率0.01°,动态范围80dB
缺陷密度(Defect Density):检测灵敏度≥0.3μm,扫描面积100×100mm²
检测范围
光学玻璃:包括相机镜头、激光窗口片等熔融石英制品
高分子材料:如显示屏偏光膜、光学级PMMA/PET薄膜
金属镀膜:真空镀铝/银镜面、磁控溅射ITO导电膜
陶瓷涂层:热障涂层(TBC)、耐磨氧化锆表面处理层
复合材料:碳纤维增强聚合物(CFRP)、光学胶合层压材料
检测方法
积分球法:ASTM E903-20测定全半球散射,GB/T 26824-2011
角度分辨散射:ISO 13696:2002规定25°-75°入射角检测
白光干涉法:GB/T 34879-2017表面形貌测量,垂直分辨率0.1nm
激光共聚焦法:ISO 25178-2:2022三维表面粗糙度分析
椭偏光谱法:ASTM E2729-19测定复折射率,GB/T 26323-2010
检测设备
Horiba SmartSE 5代椭偏仪:配备532/633/785nm多波长激光源,支持μ-Raman联用
PerkinElmer Lambda 1050+分光光度计:带150mm积分球,光谱范围175-3300nm
Zygo NewView 9000白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm,最大扫描面积200×200mm
Bruker ContourGT-X3激光共聚焦显微镜:50×物镜NA0.95,Z轴重复性0.5nm
Opto GmbH散射测量系统:支持0.1°-170°角度扫描,动态范围120dB