检测项目

1.平面度误差：≤0.02mm/m（使用光学平晶干涉法）

2.同轴度偏差：≤0.015mm（基于三坐标测量系统）

3.表面粗糙度：Ra≤0.8μm（接触式轮廓仪测量）

4.孔径公差：0.005mm（气动量规精密检验）

5.材料导电率：≥98%IACS（涡流电导率测试）

6.镀层厚度：金镀层0.5-1.5μm（X射线荧光光谱法）

7.气密性测试：氦检漏率≤110⁻⁹Pam/s

检测范围

1.铝合金波导法兰（6061-T6/7075-T651）

2.铜合金法兰（C10100/C11000无氧铜）

3.不锈钢真空法兰（304/316L材质）

4.毫米波频段法兰（WR-15/WR-22规格）

5.军用加固型法兰（MIL-F-3922/16标准）

6.矩形波导双工器连接法兰

7.高温烧结陶瓷介质法兰

检测方法

1.ASTME177-20《几何尺寸与公差(GD&T)测量不确定度评定》

2.ISO1101:2017《产品几何技术规范(GPS)》

3.GB/T11343-2008《接触式超声波表面波检验方法》

4.MIL-STD-348B《射频连接器界面标准》第5章测试程序

5.IEC60153-2:2020《金属波导法兰高频性能测试规范》

6.GB/T4340.1-2009《金属维氏硬度试验第1部分:试验方法》

检测设备

1.MitutoyoCRYSTA-ApexS5746三坐标测量机（精度0.6+L/400μm）

2.TaylorHobsonFormTalysurfi120表面粗糙度仪（分辨率0.8nm）

3.OlympusOmniscanMX2超声波探伤仪（频率范围0.5-30MHz）

4.HeliumMassSpectrometerL300i氦质谱检漏仪（灵敏度10⁻mbarL/s）

5.KeysightN5227A矢量网络分析仪（频率10MHz-67GHz）

6.FischerMP30电导率测试仪（测量范围0.5-110%IACS）

7.ZeGagePlus12英寸激光干涉仪（平面度测量精度λ/20）

8.OGPSmartScopeFlash500多传感器测量系统（光学放大率200X）

9.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪（镀层分析精度0.01μm）

10.Agilent4294A精密阻抗分析仪（测试频率40Hz-110MHz）