检测项目

1.线性定位精度：测量轴运动实际值与理论值的最大偏差（0.005mm/300mm）
2.重复定位精度：连续10次同向定位的最大离散值（≤0.003mm）
3.垂直度误差：各运动轴间角度偏差（≤3″/1000mm）
4.直线度误差：运动轨迹与理想直线的最大偏移量（0.002mm/300mm）
5.反向间隙：换向运动时的空程量（≤0.008mm）

检测范围

1.数控机床导轨系统
2.半导体晶圆传输机械臂
3.光学仪器精密滑台
4.工业机器人直线模组
5.3D打印设备传动机构

检测方法

1.ISO230-2:2014机床检验通则-线性轴定位精度与重复性测定
2.GB/T17421.2-2016机床检验通则-几何精度检验
3.ASTME2309-05(2020)坐标测量机性能评价标准
4.JJF1258-2010激光干涉仪校准规范
5.VDI/DGQ3441统计过程控制与能力分析

检测设备

1.RenishawXL-80激光干涉仪：分辨率0.001μm的线性位移测量
2.LeicaAT960激光跟踪仪：三维空间坐标测量精度15μm+6μm/m
3.APIXDLaser六维激光校准系统：同步测量6自由度几何误差
4.MitutoyoCrysta-ApexS系列三坐标测量机：空间精度(1.9+3L/1000)μm
5.HeidenhainKGM182网格尺系统：直线度测量分辨率0.1μm
6.Keysight5530动态校准仪：频率响应分析范围0-200Hz
7.Wyler电子水平仪：角度测量精度0.2″
8.Optodyne激光多普勒测振仪：速度分辨率0.01μm/s
9.FAROVantageS6激光跟踪仪：单点测量速率1000Hz
10.SIOSSP2000双频激光干涉仪：环境补偿精度0.1ppm