检测项目

1.元素组成分析：采用EDS能谱仪测定C/Si/O/N元素占比（精度0.5wt%）

2.膜层厚度测量：台阶仪测试0.1-50μm范围（分辨率0.1nm）

3.表面粗糙度：白光干涉仪Ra值测定（量程0.1nm-1mm）

4.显微硬度：纳米压痕法测试（载荷范围0.1-500mN）

5.热震稳定性：-196℃~300℃循环测试（10次循环无开裂）

检测范围

1.半导体晶圆表面钝化镀层

2.高功率激光器光学窗口镀膜

3.航空航天钛合金抗烧蚀涂层

4.MEMS器件防粘附薄膜

5.核反应堆控制棒防护层

检测方法

ASTMB748-90(2021)射频溅射镀层厚度测量规范

ISO14703:2022精细陶瓷镀层界面结合强度测试法

GB/T17722-2021金属覆盖层孔隙率电化学测试方法

ISO21227-3:2023光学涂层光谱反射率测定规程

GB/T31565-2015高温抗氧化涂层热震试验方法

检测设备

1.HitachiSU5000场发射扫描电镜（5nm分辨率EDS联用）

2.BrukerD8AdvanceX射线衍射仪（θ-θ测角器结构）

3.KLATencorP-7台阶仪（0.01nm垂直分辨率）

4.Agilent5500原子力显微镜（热驱动模式）

5.ShimadzuHMV-G21显微硬度计（50gf~2kgf载荷）

6.PerkinElmerLambda1050分光光度计（175-3300nm波段）

7.ThermoFisherESCALABXi+XPS系统（单色AlKα源）

8.ZEISSAxioImagerM2m金相显微镜（微分干涉对比）

9.MTSNanoG200纳米压痕仪（连续刚度测量技术）

10.Q-SUNXe-3氙灯老化箱（0.55W/m@340nm辐照度）