检测项目
1.复折射率实部(n值):测量范围1.30-3.50@632.8nm波长
2.消光系数虚部(k值):分辨率达110⁻⁴@400-1700nm波段
3.波长依赖性:覆盖紫外至红外光谱(190-2500nm)
4.温度特性:-50℃至200℃范围内折射率变化量Δn≤0.0005
5.各向异性参数:双折射率Δn测量精度0.0002
6.膜厚同步测定:精度0.1nm(配合椭偏仪)
检测范围
1.光学薄膜:AR/IR镀膜、介质镜、滤光片等
2.半导体材料:Si/SiC/GaN晶圆及外延层
3.纳米结构材料:光子晶体、超表面器件
4.液晶显示材料:向列相/胆甾相液晶盒
5.高分子聚合物:PMMA/PC光学级塑料
6.功能涂层:ITO透明导电膜、防反射涂层
检测方法
ASTME903-20《材料太阳吸收率的标准测试方法》椭偏法模块
ISO14782:2017《塑料-透明材料雾度测定》折射率关联测试
GB/T26323-2010《色度学用CIE标准照明体的光谱辐射数据》
GB/T26824-2011《纳米氧化铝化学分析方法》光学特性章节
JISK7150-2:2020《塑料-透明材料光传输特性测定》第2部分
检测设备
J.A.WoollamM-2000D全自动成像椭偏仪:70入射角配置,光谱范围245-1700nm
HoribaUVISEL2相位调制椭偏仪:深紫外至近红外(190-2100nm)宽谱测量
ShimadzuUV-3600Plus分光光度计:配备积分球模块的透射/反射率测试
SENTECHSE850adv光谱反射计:5至80可变入射角系统
FilmetricsF20薄膜分析系统:快速测量厚度与折射率的白光干涉仪
AgilentCary7000全能型分光光度计:支持VASE可变角光谱椭偏功能
BrukerInnova红外椭偏仪:中红外波段(2.5-25μm)专用测试平台
OceanInsightFX系列光纤光谱仪:配合定制化探头实现原位测量