检测项目
1.表面电阻率：测量范围10^3~10^12Ω/sq（ASTMD257）
2.体积电阻率：测试电压100V~1000V（IEC60093）
3.静电衰减时间：记录50%电荷消散时间（MIL-STD-1686C）
4.静电放电电压：接触放电2kV~30kV（IEC61000-4-2）
5.电荷量密度：精度5%@1nC/cm（ISO18080）
检测范围
1.电子元器件：集成电路、场效应晶体管等ESD敏感器件
2.半导体材料：硅晶圆、GaN基板等洁净室生产材料
3.高分子材料：PE薄膜、PC注塑件等绝缘制品
4.防静电包装：屏蔽袋、导电泡沫等运输防护材料
5.医疗设备：监护仪电路板、手术器械涂层
检测方法
1.ASTMD257：标准电极法测定表面/体积电阻率
2.IEC61340-5-1：工作区静电位控制分级标准
3.GB/T12703.4-2020：纺织品电荷面密度测定法
4.ISO18080系列：纤维材料静电性能测试体系
5.GB/T17626.2-2018：电磁兼容-静电放电抗扰度试验
检测设备
1.TrekModel152-1静电场测试仪：分辨率0.1V，量程20kV
2.ACL-385表面电阻测试仪：符合ASTMD257标准配置
3.ESDEMCESD61000抗扰度测试系统：支持IEC61000-4-2全波形模拟
4.Desco19270体积电阻率测试台：四探针法测量精度1%
5.ThermoKeytekESD模拟器：接触/空气放电模式可切换
6.3MModel701电荷衰减测试仪：时间分辨率0.01s
7.MonroeElectronics284C电荷板分析仪：动态监测电荷消散曲线
8.Keithley6517B高阻计：最小电流测量0.01fA
9.OphirPD10脉冲电压探头：带宽200MHz@30kV
10.SimcoFMX-004静电场测绘系统：三维场强分布可视化分析