检测项目
1.质荷比测定：测量范围1-1000amu/e，质量分辨率≤0.01amu
2.电荷态分布分析：多电荷离子占比测量精度0.5%
3.动能分散度检测：能量分辨率≤0.1eV@1keV
4.同位素丰度分析：丰度比测量误差＜0.01%
5.空间分布特性：束流均匀性偏差＜2%
检测范围
1.半导体材料：硅晶圆掺杂离子、砷化镓表面改性粒子
2.生物分子：蛋白质复合体、DNA修饰带电基团
3.纳米颗粒：金属纳米粒子（Au/Ag）、量子点材料
4.核反应产物：裂变碎片、α/β衰变粒子
5.工业粉尘：PM2.5带电组分、气溶胶颗粒
检测方法
ASTMF1712-08：带电粒子束流特性表征标准
ISO18117:2009：表面化学分析-带电粒子束应用规范
GB/T28892-2012：表面化学分析-二次离子质谱通则
ISO21362:2019：纳米技术-带电纳米颗粒表征方法
GB11606.5-2021：分析仪器环境试验-电磁兼容性要求
检测设备
1.ThermoScientificQExactiveHF-X：高分辨轨道阱质谱仪，质量精度＜1ppm
2.Agilent8800TripleQuadrupoleICP-MS：多元素同位素分析仪
3.BrukertimsTOFPro2：捕获离子迁移谱-飞行时间联用系统
4.ShimadzuMALDI-7090：基质辅助激光解吸电离源
5.WatersXevoG3QTof：四极杆-飞行时间串联质谱仪
6.PerkinElmerNexION2000：电感耦合等离子体质谱系统
7.JEOLJMS-T200LP：大气压离子源双聚焦磁质谱仪
8.TSI3088ElectrostaticClassifier：纳米颗粒电迁移分级器
9.Keysight8500BEMPro：三维电磁场仿真分析平台
10.OmicronLEED/AESSystem：低能电子衍射与俄歇电子能谱联用仪