检测项目

1.热膨胀系数：测定20-1000℃范围内线性膨胀系数α值≤5.510⁻⁷/℃

2.化学耐腐蚀性：在98%浓硫酸、40%氢氟酸中浸泡24小时失重率＜0.1mg/cm

3.透光率：紫外波段（200-350nm）透光率≥90%，可见光波段（400-800nm）透光率≥92%

4.表面粗糙度：Ra值≤0.05μm（接触式轮廓仪测量）

5.抗压强度：静态载荷≥120MPa（GB/T12442标准）

检测范围

1.高纯石英玻璃器皿（SiO₂含量≥99.99%）

2.光学级熔融石英窗口片

3.半导体用超净石英舟

4.高温反应釜石英内衬

5.紫外光谱仪用比色皿

检测方法

ASTME228-17《线性热膨胀标准试验方法》测定热膨胀系数

ISO1776:1985《玻璃耐沸腾盐酸侵蚀性的测定》评估化学稳定性

GB/T7962.1-2010《无色光学玻璃测试方法》测量透光率

ISO4287:1997《表面粗糙度术语参数》规范表面质量评价

GB/T3810.4-2016《陶瓷材料抗压强度试验方法》验证机械性能

检测设备

1.NetzschDIL806热膨胀系数测定仪：温度范围RT-1600℃，分辨率0.05μm/mK

2.HitachiU-4100紫外可见分光光度计：波长范围190-2600nm，光谱带宽0.1nm

3.TaylorHobsonFormTalysurfi120轮廓仪：垂直分辨率0.8nm，横向分辨率0.5μm

4.Instron5985万能材料试验机：最大载荷150kN，精度0.5%

5.MettlerToledoXSR205电子天平：称量精度0.01mg（腐蚀失重测量）

6.Agilent7900ICP-MS：检测痕量金属杂质（Al、Fe、Ca等≤1ppm）

7.LeicaDM2700M偏光显微镜：200倍率下观测微观裂纹及夹杂物

8.ShimadzuEDX-8000X射线荧光光谱仪：成分分析精度0.01wt%

9.ThermoScientificARLEQUINOX3000X射线衍射仪：晶体结构分析（半高宽≤0.02）

10.LabsphereUV-1000F透射率测试系统：积分球直径150mm（200-2500nm全谱测量）