检测项目
1.电阻率测量：范围110-8-1106Ωm（252℃）
2.极化率分析：测量精度0.05%，频率范围0.01Hz-10kHz
3.自然电位监测：分辨率0.1mV，动态范围5V
4.激发极化衰减时间：时间分辨率1μs，衰减曲线采样率1MHz
5.介电常数测定：频率范围20Hz-2MHz（εr测量误差≤1%）
检测范围
1.金属材料：铜/铝导体、合金镀层（厚度≥5μm）
2.半导体晶圆：硅片直径100-300mm，电阻率0.001-100Ωcm
3.复合材料：碳纤维增强塑料（CFRP）层压板（厚度0.5-50mm）
4.地质样品：岩芯标本（尺寸Φ50100mm）、土壤样本（含水率5-40%）
5.电子元器件：PCB基板（FR-4/CEM-3）、MLCC电容器（容量1nF-100μF）
检测方法
1.GB/T24521-2009《金属材料电阻率测量方法》四探针法
2.ISO2878:2017《硫化橡胶导电性能测定》接触式电极法
3.ASTMB193-20《导电材料电阻率测试标准》
4.GB/T31838.4-2019《固体绝缘材料介电性能试验》三电极系统
5.ISO1853:2018《导电橡胶体积电阻率测定》范德堡法
检测设备
1.Keithley2450源表：四象限电压/电流输出（1000V/1A），支持四线法电阻测量
2.Agilent4294A阻抗分析仪：频率范围40Hz-110MHz，基本精度0.08%
3.ZenniumPro电化学工作站：16通道同步采集（采样率10MS/s）
4.FLUKE1587绝缘测试仪：绝缘电阻量程0.01MΩ-2GΩ（测试电压50-1000V）
5.HIOKIIM3590化学阻抗分析仪：频率DC-200kHz（相位精度0.05）
6.AMETEKCTS726非接触式电阻测试系统：适用于半导体晶圆（直径≤300mm）
7.KeysightB2900A精密源表：最小电流分辨率10fA（噪声电平<5μVRMS）
8.OmicronBDS1300介电谱分析系统：温度范围-70℃~300℃（湿度控制1%RH）
9.AdvantestR6243接地电阻测试仪：最大电流30A（符合IEEEStd81规范）
10.TektronixDMM6500六位半数字万用表：基本DCV精度0.002%