检测项目

1.波前畸变检测：λ/20RMS@632.8nm波长

2.调制传递函数（MTF）测试：空间频率50lp/mm时对比度≥0.8

3.几何畸变分析：全视场范围内畸变量≤0.5μm

4.像散校正量测量：Zernike系数Z5/Z6≤0.05λ

5.场曲均匀性验证：焦平面偏移量≤2μm

检测范围

1.紫外至红外波段光学玻璃元件（200-1600nm）

2.半导体光刻系统投影物镜（NA≥0.75）

3.航天遥感相机非球面反射镜（口径≥500mm）

4.激光加工头F-theta扫描透镜（扫描精度1μm）

5.医疗内窥镜梯度折射率透镜（直径≤3mm）

检测方法

ASTME1331-15标准：光学系统MTF测试方法

ISO9334:2012：光学系统波像差测量规范

GB/T13752-2017：光学零件面形偏差检验方法

ISO10110-5:2015：光学元件表面缺陷公差标准

GB/T10988-2009：光学系统分辨率测试规程

检测设备

ZygoVerifireMST+激光干涉仪：波长632.8nm/1064nm双波段，PV值测量精度λ/100

TriopticsImageMasterHRMTF测试仪：支持NA0.95物镜测试，空间频率分辨率200lp/mm

MitutoyoCMM-2000坐标测量机：三维定位