检测项目
表面电荷密度：测量范围110⁻⁹C/cm至110⁻⁴C/cm，精度5%
电导率分布：测试频率1Hz-1MHz，温度范围-50℃至200℃
介电常数：频率响应10kHz-1GHz，介电损耗角正切值≤0.01
载流子迁移率：霍尔效应法测量精度0.5cm/(Vs)
热释电系数：温度梯度0.1-10K/min，灵敏度≥1pC/K
检测范围
半导体材料：硅晶圆、砷化镓基板等III-V族化合物
高分子聚合物：聚四氟乙烯薄膜、聚酰亚胺绝缘层
功能涂层：防静电涂料、电磁屏蔽镀层
陶瓷介质：氧化铝基板、钛酸钡压电陶瓷
生物医用材料：人工关节聚乙烯涂层、药物载体纳米颗粒
检测方法
ASTMD257-2014绝缘材料直流电阻测试规范
ISO1853-2018导电橡胶体积电阻率测定法
GB/T1410-2006固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法
IEC62631-3-1介电性能频率响应测试标准
JISK6911热释电系数测量规程
检测设备
KeysightB1505A功率器件分析仪：支持10fA-10A宽量程电流测量
TrekModel284A表面电位计：分辨率0.1V，最大场强20kV/cm
Agilent4294A阻抗分析仪：频率范围40Hz-110MHz，基本精度0.08%
Keithley4200A-SCS半导体特性分析系统：支持脉冲IV和CV测试
Lakeshore372AC温度控制系统：控温精度0.01K@4.2K-325K
HIOKIIM3590化学阻抗分析仪：相位角精度0.05
RTS-9四探针测试仪：电阻率测量范围10⁻⁴~10⁶Ωcm
TAInstrumentsQ400热释电分析仪：温度扫描速率0.01~50℃/min
MalvernZetasizerNanoZSP：动态光散射法测ζ电位
BrukerDimensionIcon原子力显微镜：开尔文探针力显微模式(KPFM)