检测项目

1.条纹间距测量：分辨率0.1μm，测量范围5-200μm

2.对比度分析：灰度级差≥50级（8bit图像系统）

3.畸变率计算：允许公差0.05%@25℃恒温环境

4.频率稳定性测试：波动值≤0.02Hz（连续监测30分钟）

5.相位均匀性评估：全视场相位偏差≤λ/20（λ=632.8nm）

检测范围

1.光学元件：包括透镜、棱镜等玻璃制品表面平整度

2.半导体晶圆：硅片表面应力分布及微变形量

3.复合材料：碳纤维层合板内部缺陷定位

4.MEMS器件：微机电系统结构动态形变监测

5.金属板材：冷轧钢板残余应力场可视化分析

检测方法

ASTME2033-17非破坏性测试中光学干涉法应用规范

ISO14978:2018几何量测量设备通用技术要求

GB/T23901.2-2019无损检测射线照相质量要求第2部分：数字系统

ISO25178-604:2013表面纹理分析之相干扫描干涉法

GB/T34370.6-2017机械振动与冲击信号处理第6部分：时频分析

检测设备

1.ZygoVerifireHDX：4K干涉仪系统，面形精度λ/1000PV值

2.KeyenceLJ-V7000：激光扫描轮廓仪，Z轴分辨率0.1μm

3.OlympusSTM7测量显微镜：配备20Mirau物镜组

4.PolytecMSA-600微系统分析仪：频响范围DC-25MHz

5.DantecDynamicsQ-450系统：高速相机帧率10,000fps

6.ThorlabsDCC1545M相机：CMOS传感器像素3.45μm3.45μm

7.NikonMM-400测量机：XYZ行程400300200mm

8.MitutoyoCMM-CrystaPlusM574：空间精度(1.9+3L/1000)μm

9.BrukerContourGT-K1：白光干涉仪垂直分辨率0.1nm

10.OGPSmartScopeFlash500：多传感器测量系统精度1.5μm