检测项目
1.衰减系数测量:波长范围200-2500nm,精度0.05dB/cm
2.折射率变化率分析:分辨率达110⁻⁴RIU(折射率单位)
3.透射率测试:覆盖紫外至近红外波段(190-3300nm)
4.反射率偏差检测:入射角范围0-85,重复性误差≤0.3%
5.偏振依赖性评估:波长532/1550nm双波段测试
检测范围
1.光学薄膜:包括抗反射膜、高反膜等镀层材料
2.光纤通信组件:单模/多模光纤包层及纤芯材料
3.半导体晶圆:硅基/砷化镓基片表面钝化层
4.高分子聚合物薄膜:PET/PC/PMMA等光学级薄膜
5.激光器涂层:YAG晶体镀膜及谐振腔镜组
检测方法
ASTME275-08(2021):紫外可见分光光度计法测定透射率
ISO13697:2019:激光量热法测量光学元件反射比
GB/T26331-2010:光学薄膜折射率和厚度测试规程
ISO14782:2021:塑料透明材料雾度测定方法
GB/T14164-2021:光学功能薄膜偏振特性测试规范
检测设备
AgilentCary7000全能型分光光度计:支持190-3300nm全波段透射/反射测量
ZygoVerifireMST干涉仪:表面形貌测量精度达λ/1000(λ=632.8nm)
BenthamTMC300单色仪系统:波长分辨率0.02nm@532nm
ThorlabsPAX1000偏振分析仪:支持1550nm波段斯托克斯参数测量
OceanInsightFX系列光纤光谱仪:积分时间可调至10ms级动态采集
KeysightN5227A网络分析仪:40GHz频段介电常数测试
SENTECHSE850椭偏仪:膜厚测量范围1nm-100μm
BrukerContourGT-X3白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm
HoribaLabRAMHREvolution拉曼光谱仪:空间分辨率<1μm
HamamatsuC13550近红外相机:InGaAs传感器覆盖900-1700nm波段