等离子体电子检测

检测项目

1.电子密度：测量范围110⁹-110cm⁻，精度5%

2.电子温度：典型值0.5-10eV，分辨率0.1eV

3.等离子体电位：量程-50至+50V，误差≤0.5V

4.能量分布函数（EEDF）：能量分辨率0.05eV@1eV

5.空间均匀性：径向偏差≤8%，轴向梯度≤3%/cm

检测范围

1.半导体晶圆刻蚀后表面等离子体残留分析

2.磁控溅射镀膜工艺中等离子体离化率监测

3.低温等离子体灭菌设备的电子密度验证

4.光伏薄膜沉积反应腔体内等离子体状态诊断

5.航天器表面抗辐射涂层的等离子体改性评估

检测方法

ASTME3051-16射频等离子体中电子密度测量规范

ISO21254:2019激光诱导击穿光谱法测定等离子体参数

GB/T39218-2020微波谐振腔法电子密度测试规程

IEC62884-3:2017压电材料等离子体处理工艺评估标准

GB/T40148-2021双探针法测量低温等离子体特性

检测设备

1.ImpedansLangmuirPro系统：四探针阵列配置，支持RF/DC等离子体实时诊断

2.HidenESPion静电探针：可测EEDF及离子流量密度

3.KeysightN9030B频谱分析仪：13.6MHz-44GHz频段等离子体噪声分析

4.OceanOpticsHR4000光谱仪：200-1100nm波长范围发射光谱采集

5.TektronixMSO64B示波器：6GHz带宽监测脉冲等离子体瞬态特性

6.PfeifferVacuumQMG700质谱仪：残余气体分析与等离子体成分鉴定

7.AdvancedEnergyPinnaclePlus射频功率计：13.56MHz功率稳定性监测

8.K-SpaceAssociatesBDS-100束诊断系统：离子束流密度剖面测量

9.ScienlyticPlasmaSens传感器：嵌入式电子温度实时监测模块

10.HoribaiHR550单色仪：0.5nm分辨率光谱线形分析

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"等离子体电子检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。