检测项目

1.表面电位测量：范围10kV至+20kV，分辨率0.1V
2.电荷密度分析：精度5%，量程110⁻⁹C/cm至110⁻C/cm
3.电场强度分布：空间分辨率0.1mm，量程0.1kV/m至100kV/m
4.电荷衰减速率：时间常数0.01s至3600s
5.介电常数测定：频率范围1Hz至1MHz

检测范围

1.半导体材料：晶圆、光刻胶、封装基板
2.高分子薄膜：PET、PI、PTFE绝缘膜
3.电子元件：PCB板、电容器、电磁屏蔽材料
4.医疗器械：导管、手术器械防静电涂层
5.纺织品：防静电工作服、工业滤布

检测方法

1.ASTMD4470-2018：非接触式表面电位测量标准
2.ISO28842:2015：旋转电极法电荷密度测定
3.GB/T31838.2-2019：固体绝缘材料电荷衰减测试
4.IEC61340-4-1:2015：电场强度映射规范
5.GB/T1410-2006：体积电阻率与介电常数测试

检测设备

1.TrekModel347静电计：非接触式表面电位测量（20kV）
2.MonroeElectronicsModel284B：动态电荷衰减分析系统
3.SimcoFMX-003电场测试仪：三维电场强度测绘（0-200kV/m）
4.Keithley6517B高阻计：介电性能测试（10⁶Ω量程）
5.Electro-TechSystemsModel510C：旋转电极电荷密度仪
6.KeysightE4990A阻抗分析仪：宽频介电谱测量（20Hz-120MHz）
7.MitsubishiChemicalHV-C1000：高温高压电荷分布模拟系统
8.OmicronBode100频响分析仪：纳米级局部放电检测
9.HIOKIIM3570绝缘电阻测试仪：符合IEC62631标准
10.ThermoScientificFD-300A：飞安级微电流测量装置