检测项目
1.化学成分分析:SiO₂含量≥99.99%,Al/Fe/K/Na杂质总量≤50ppm
2.密度测定:2.20g/cm0.02(25℃恒温环境)
3.热膨胀系数:0.5510⁻⁶/℃(20-300℃区间)
4.光学均匀性:折射率偏差≤510⁻⁶(632.8nm波长)
5.抗压强度测试:≥120MPa(轴向载荷速率0.5mm/min)
6.羟基含量检测:OH⁻浓度≤5ppm(红外光谱法)
7.气泡缺陷评级:A级标准(直径≤0.1mm且间距≥50mm)
检测范围
1.半导体级石英坩埚原料砣
2.光纤预制棒熔融用高纯石英砣
3.紫外光学透镜毛坯砣
4.高温扩散炉用石英管坯料砣
5.光伏单晶硅生长用载具砣
6.精密仪器用透波材料基体砣
检测方法
1.ASTME1269-23:差示扫描量热法测定热稳定性
2.ISO9685:2021:X射线荧光光谱法分析主量元素
3.GB/T16535-2020:激光干涉法测试光学均匀性
4.GB/T25995-2010:高温卧式膨胀仪测定热膨胀系数
5.ISO14703:2018:电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)痕量元素分析
6.GB/T7962.21-2010:偏光应力仪检测残余应力分布
检测设备
1.RigakuZSXPrimusIVX射线荧光光谱仪(元素定量分析)
2.NetzschDIL402ExpedisClassic热膨胀系数测试仪(-160℃~1550℃)
4.PerkinElmerOptima8300ICP-OES(金属杂质定量)
5.ShimadzuUV-3600iPlus紫外可见近红外分光光度计(透过率测试)
6.MitutoyoCrysta-ApexS1168三坐标测量机(几何尺寸精度1μm)
7.BrukerVERTEX80v真空傅里叶红外光谱仪(羟基含量分析)
8.Instron5985万能材料试验机(200kN载荷精度)
9.ZygoVerifireMST激光干涉仪(λ/20波前精度)
10.LeicaDM2700M偏光显微镜(500倍缺陷观测)