检测项目

氢氟酸浓度检测：测定范围0.1%~70%（w/w），误差±0.5%

游离氟离子含量：检测限0.1mg/L，适用浓度0.5-1000ppm

重金属杂质检测：铅、砷、汞等元素，检测限0.01μg/g

pH值测定：测量范围0-3，精度±0.05pH

腐蚀速率测试：不锈钢/玻璃材料，温度范围20-80℃

检测范围

半导体材料：晶圆清洗液、蚀刻废液、高纯氢氟酸原料

石化产品：催化剂残留液、烷基化反应中间体

玻璃制品：蚀刻工艺液、表面处理溶液

金属材料：钛合金酸洗液、不锈钢钝化液

环境样品：工业废水、废气吸收液、土壤提取液

检测方法

中和滴定法（GB/T 11198.1-2021）：浓度测定标准方法

离子色谱法（ISO 10304-1:2022）：游离氟离子定量分析

ICP-MS法（ASTM D1976-20）：重金属元素痕量检测

电位滴定法（GB/T 9725-2023）：pH值精密测定

失重法（ASTM G31-21）：材料腐蚀速率测试

检测设备

自动滴定仪：梅特勒T5 Excellence，分辨率0.001mL

电感耦合等离子体质谱仪：赛默飞iCAP RQ，检测限0.1ppt

氟离子专用电极：哈希HQ440d，温度补偿0-100℃

恒温腐蚀测试仪：科晶MTI-1700，控温精度±0.1℃

气相色谱-质谱联用仪：安捷伦8890-5977B，可检测挥发性氟化物