检测项目
1.平均芯厚测量:测量范围0.1-50mm,精度1μm
2.最小芯厚定位:识别多层结构中≥0.05mm的薄弱层
3.厚度均匀性分析:横向分布偏差≤2%
4.界面层厚度测定:分辨率达0.05μm的过渡区测量
5.热膨胀系数匹配度:温度循环下ΔCTE≤110^-6/K
检测范围
1.多层PCB基板:FR-4/高频覆铜板层压结构
2.半导体封装材料:EMC塑封料与芯片堆叠层
3.光伏组件:EVA胶膜/背板复合结构
4.金属镀层体系:Ni-P/Au/Cu多层电镀层
5.光学薄膜组件:AR膜/IR截止滤光片叠层
检测方法
ASTMB487-20横截面金相法:通过显微观测截面几何尺寸
ISO2360:2017涡流法:非接触测量导电材料基体厚度
GB/T11344-2021超声波脉冲回波法:适用多层粘接结构测量
ISO4591:2022塑料薄膜称重法:通过质量/面积比推算厚度
GB/T1771-2007漆膜磁性测厚仪法:钢铁基体非磁性涂层测量
检测设备
MitutoyoLitematicVL-50系列:分辨率0.1μm的接触式测厚仪
Olympus38DLPLUS超声波测厚仪:5-200mm量程带B扫描成像功能
ZeissAxioImagerM2m金相显微镜:搭配5000万像素CCD的截面分析系统
Elcometer456涂层测厚仪:支持Fe/NFe基体的磁感应/涡流双模探头
KeyenceLT-9010M激光位移计:非接触式0.05μm重复精度在线测量
Instron68TM-05材料试验机:集成DIC系统的分层强度测试平台
BrukerContourGT-X3光学轮廓仪:白光干涉法纳米级厚度解析
ThermoFisherScios2DualBeamFIB-SEM:离子束切割结合SEM的剖面分析