检测项目

1.几何尺寸偏差：长度公差0.2mm/100mm，平面度≤0.15mm/m

2.热膨胀系数：20-1000℃范围内α≤5.510⁻⁷/℃

3.抗压强度：常温状态≥120MPa（GB/T1965-1996）

4.羟基含量：红外光谱法测定-OH基浓度≤10ppm

5.耐急冷急热性：1100℃→25℃水淬循环≥5次无裂纹

检测范围

1.单晶硅生长炉用高纯石英烧舟

2.光伏行业PECVD工艺专用烧舟

3.高温烧结炉配套异形烧舟

4.半导体扩散/氧化工艺管式烧舟

5.真空镀膜设备支撑用复合涂层烧舟

检测方法

ASTME228-17线性热膨胀系数测试标准

ISO3585:1998硼硅酸盐玻璃3.3性能规范

GB/T16535-2008石英玻璃化学成分分析方法

GB/T10701-2008石英玻璃热稳定性检验方法

ISO14704:2016精细陶瓷室温强度试验方法

检测设备

MitutoyoCRYSTA-ApexS574三坐标测量机（1μm尺寸精度）

NetzschDIL402ExpedisClassic热膨胀系数测试仪（最高1600℃）

Instron5985万能材料试验机（300kN载荷精度）

PerkinElmerFrontier傅里叶红外光谱仪（4cm⁻分辨率）

LeicaDM2700M金相显微镜（500微观缺陷观测）

ThermoScientificARLQUANT'X荧光光谱仪（ppm级元素分析）

ShimadzuEDX-7000能量色散X射线分析仪（表面污染检测）

EspecPL-3KPH温度冲击试验箱（-70℃~+220℃温变速率15℃/min）

KeyenceVHX-7000数字显微镜（三维表面形貌重建）

MalvernMastersizer3000激光粒度仪（纳米级颗粒分布分析）