检测项目
1.表面粗糙度：测量Ra值范围0.1-10nm，空间波长0.1-100μm
2.薄膜厚度：单层/多层膜厚测量精度0.5nm（10nm-100μm）
3.光学均匀性：折射率偏差Δn≤510⁻⁶
4.面形误差：PV值测量精度λ/100（λ=632.8nm）
5.热膨胀系数：温度变化0.1℃下的形变量分辨率0.1nm/℃
检测范围
1.光学玻璃：包括熔融石英、BK7、SF11等材质透镜/棱镜
2.半导体晶圆：硅片/砷化镓基板表面平整度与缺陷分析
3.金属薄膜：铝/银/金镀层厚度与界面粗糙度表征
4.聚合物涂层：PDMS/PMMA等有机材料厚度均匀性检测
5.晶体材料：LiNbO₃、KDP等非线性晶体表面质量评估
检测方法
ISO10110-8:2020光学元件表面形貌的干涉测量规范
ASTMF1048-2021非接触式表面粗糙度测试标准
GB/T22461-2008表面粗糙度参数及其测量方法
ISO14997:2018光学元件缺陷检测的干涉法实施指南
GB/T34879-2017微纳米膜厚测量通用技术要求
检测设备
1.ZygoVerifireHD：4英寸口径Fizeau干涉仪，垂直分辨率0.1nm
2.BrukerContourElite：白光干涉三维形貌仪，Z轴重复性0.01nm
3.TaylorHobsonCCIHD：非接触式表面轮廓仪，横向分辨率0.5μm
4.Keysight5500ILM：激光干涉显微镜，扫描速度200μm/s
5.OlympusLEXTOLS5000：3D激光共聚焦干涉系统，XY分辨率120nm
6.VeecoNT9800：动态干涉仪模块化平台，支持多波长测量
7.MitutoyoMF-U1000H：超精密平面度测量仪，测量范围Φ300mm
8.PanasonicUA3P：五轴联动纳米级形状测定机，角度分辨率0.001
9.NikonNEXIVVM-300C：视频测量系统集成干涉模块
10.ThorlabsSA210-5B：紧凑型扫描式Fabry-Prot干涉仪