珀罗干涉仪检测

检测项目

1.表面粗糙度：测量Ra值范围0.1-10nm，空间波长0.1-100μm

2.薄膜厚度：单层/多层膜厚测量精度0.5nm（10nm-100μm）

3.光学均匀性：折射率偏差Δn≤510⁻⁶

4.面形误差：PV值测量精度λ/100（λ=632.8nm）

5.热膨胀系数：温度变化0.1℃下的形变量分辨率0.1nm/℃

检测范围

1.光学玻璃：包括熔融石英、BK7、SF11等材质透镜/棱镜

2.半导体晶圆：硅片/砷化镓基板表面平整度与缺陷分析

3.金属薄膜：铝/银/金镀层厚度与界面粗糙度表征

4.聚合物涂层：PDMS/PMMA等有机材料厚度均匀性检测

5.晶体材料：LiNbO₃、KDP等非线性晶体表面质量评估

检测方法

ISO10110-8:2020光学元件表面形貌的干涉测量规范

ASTMF1048-2021非接触式表面粗糙度测试标准

GB/T22461-2008表面粗糙度参数及其测量方法

ISO14997:2018光学元件缺陷检测的干涉法实施指南

GB/T34879-2017微纳米膜厚测量通用技术要求

检测设备

1.ZygoVerifireHD：4英寸口径Fizeau干涉仪，垂直分辨率0.1nm

2.BrukerContourElite：白光干涉三维形貌仪，Z轴重复性0.01nm

3.TaylorHobsonCCIHD：非接触式表面轮廓仪，横向分辨率0.5μm

4.Keysight5500ILM：激光干涉显微镜，扫描速度200μm/s

5.OlympusLEXTOLS5000：3D激光共聚焦干涉系统，XY分辨率120nm

6.VeecoNT9800：动态干涉仪模块化平台，支持多波长测量

7.MitutoyoMF-U1000H：超精密平面度测量仪，测量范围Φ300mm

8.PanasonicUA3P：五轴联动纳米级形状测定机，角度分辨率0.001

9.NikonNEXIVVM-300C：视频测量系统集成干涉模块

10.ThorlabsSA210-5B：紧凑型扫描式Fabry-Prot干涉仪

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"珀罗干涉仪检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。