检测项目
1.表面电荷密度：测量范围110⁻⁹~510⁻⁴C/m，分辨率0.1pC
2.电位衰减特性：记录10s~24h内电位下降至初始值50%所需时间
3.介电常数测定：频率范围20Hz~1MHz，精度0.05%
4.电场强度分布：三维场强测绘精度0.5kV/m
5.电荷迁移率：载流子迁移率测试范围10⁻⁵~10⁻cm/(Vs)
检测范围
1.高分子绝缘材料：聚四氟乙烯（PTFE）、聚酰亚胺（PI）薄膜
2.半导体晶圆：硅片（Si）、碳化硅（SiC）基板
3.功能涂层：防静电涂料、抗粘连涂层
4.电子封装材料：环氧模塑料（EMC）、底部填充胶
5.储能器件介质：超级电容器隔膜、锂电隔膜陶瓷涂层
检测方法
ASTMD257-14《绝缘材料直流电阻测试》
ISO16790:2020《塑料薄膜表面电阻率测定》
GB/T1410-2006《固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法》
IEC62631-3-1:2016《介电和电阻特性测量规范》
GB/T31838.4-2021《固体绝缘材料介电强度试验方法》
检测设备
1.KeysightB1505A功率器件分析仪：支持10kV高压扫描及nA级漏电流检测
2.TrekModel347静电计：分辨率0.1V，最大测量电压20kV
3.HIOKIIM3570阻抗分析仪：4端对测量精度达0.08%
4.Keithley6517B静电计：最小电流测量0.01fA
5.Electro-TechSystemsModel279电荷衰减测试系统：符合MIL-STD-1686标准
6.MitsubishiChemicalHV-S450表面电位计：非接触式测量精度3%
7.AgilentE4980AL精密LCR表：1MHz下基本精度0.05%
8.SimcoFMX-003静电场测试仪：三维场强测绘功能
9.MonroeElectronicsModel284A静电衰减测试仪：时间分辨率1ms
10.TREKP0865旋转电极系统：符合ASTMD257标准接触电阻测试