检测项目

1.气体纯度测定：He/Ne/Ar/Kr/Xe主成分含量≥99.999%（5N级）

2.氧氮杂质分析：O₂≤0.5ppm，N₂≤1.0ppm（高纯气体标准）

3.水分含量检测：H₂O露点≤-70℃（对应含水量≤0.1ppm）

4.碳氢化合物总量：THC≤0.1ppm（C1-C6组分色谱分离）

5.放射性核素筛查：Kr-85活度≤1Bq/m（核工业级气体要求）

检测范围

1.半导体制造用保护气体：单晶硅生长用高纯氩气

2.光学镀膜工艺气体：真空镀膜机用氪氙混合气

3.金属焊接保护气：TIG焊用氦氩混合气

4.医疗设备封装气体：MRI超导磁体用液氦

5.核反应堆冷却剂：高温气冷堆用氦气循环系统

检测方法

1.ASTMD1945-14：气相色谱法测定永久气体组成

2.ISO6142:2015：称量法制备标准气体混合物

3.GB/T4844-2011：高纯氦技术要求和试验方法

4.GB/T5829-2020：电子工业用气体中痕量水分的测定

5.ASTME260-96(2011)：填充柱气相色谱法通则

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪：配置TCD/FID双检测器，分辨率0.1ppm

2.ThermoScientificISQ7000单四极杆质谱仪：质量范围1-1050amu

3.MettlerToledoC30库仑法水分仪：测量下限0.1μgH₂O

4.AMETEKProStat-CX露点仪：测量范围-100℃~+20℃

5.INFICONHAPSITEER便携式气质联用仪：现场快速筛查VOCs

6.HoribaVA-3000氦质谱检漏仪：灵敏度达510⁻Pam/s

7.BrukerG8GALILEO氧氮氢分析仪：脉冲熔融法测定O/N/H含量

8.ShimadzuGC-2030ATFPD硫化学发光检测器：硫化物检测限0.01ppm

9.VICIValco六通阀进样系统：死体积＜10μL的精密切换装置

10.EntegrisGASGUARD过滤器：0.003μm颗粒物截留率99.9999%