检测项目
1.氟硅酸根(SiF6^2−)含量测定:采用离子色谱法,测量范围0.1%-50%,精度0.02%
2.锡(Sn)离子浓度分析:原子吸收光谱法(AAS),检出限0.05mg/L
3.pH值测试:电极法,测量范围0-14,分辨率0.01
4.密度测定:振动式密度计法,范围0.8-3.0g/cm
5.杂质元素限量检测(Fe、Cu、Pb):ICP-MS法,限值分别≤10ppm、≤5ppm、≤2ppm
检测范围
1.电镀液:用于电子元器件表面处理的酸性镀液体系
2.陶瓷釉料:高温烧结工艺中的助熔剂原料
3.金属防腐涂料:钢结构表面处理剂核心组分
4.半导体清洗剂:晶圆蚀刻工序专用化学品
5.化工中间体:有机锡化合物合成前驱体
检测方法
1.GB/T23945-2009《无机化工产品中氟硅酸盐测定通用方法》
2.ASTME1479-16《电感耦合等离子体质谱法测定金属杂质标准指南》
3.ISO1843-5:1987《工业用氟硅酸盐的化学分析方法》
4.GB/T601-2016《化学试剂标准滴定溶液的制备》
5.ASTMD1293-18《水pH值测定的标准试验方法》
检测设备
1.离子色谱仪(型号:IC-2000):分离测定阴离子浓度,分辨率0.01mg/L
2.原子吸收光谱仪(型号:AA-7000F):火焰法测金属元素,波长范围190-900nm
3.pH计(型号:PHSJ-5F):复合玻璃电极,自动温度补偿0.01℃
4.电感耦合等离子体质谱仪(型号:ICP-MS7900):多元素同步分析,检出限ppt级
5.振动式密度计(型号:DA-640):数字式密度测量,重复性0.0001g/cm
6.紫外可见分光光度计(型号:UV-2600i):波长精度0.3nm,光谱带宽1nm
7.微波消解仪(型号:MARS6):高温高压样品前处理系统
8.恒温振荡水浴槽(型号:THZ-98A):温度控制精度0.1℃
9.电子分析天平(型号:ME204E):最大称量220g,可读性0.1mg
10.真空干燥箱(型号:DZF-6050):温度均匀度2%,真空度≤133Pa