检测项目

尺寸精度检测：长宽公差±0.01mm，厚度公差±0.005mm

平面度检测：全平面公差≤0.005mm/m，局部波动≤0.003mm

表面粗糙度检测：Ra≤0.4μm，Rz≤3.2μm

定位孔位置度检测：孔组坐标偏差≤±0.008mm

垂直度检测：相邻基准面垂直度≤0.01mm/300mm

检测范围

不锈钢基板：适用于半导体制造设备定位平台

铝合金基板：用于航空航天仪器安装基座

钛合金基板：满足核工业耐腐蚀定位需求

工程塑料基板：应用于医疗设备减震定位模块

碳纤维复合材料基板：服务于精密光学仪器支架

检测方法

尺寸精度检测：GB/T 1800.2-2020《产品几何技术规范》

平面度检测：ISO 8512:2018《机床工作台平面度测试方法》

表面粗糙度检测：ASTM D7127-17《非接触式轮廓测量标准》

坐标位置检测：GB/T 1958-2017《形状和位置公差检测规定》

材料硬度检测：ISO 6507-1:2018《金属材料维氏硬度试验》

检测设备

三坐标测量机：Hexagon OPTIV M 443，测量精度±0.6μm+L/400μm

激光干涉仪：Renishaw XL-80，线性测量分辨率0.001μm

表面轮廓仪：Taylor Hobson Form Talysurf i-Series，Ra检测范围0.01-50μm

电子水平仪：WYLER Clinotronic PLUS，角度分辨率0.001°

金相显微镜：Olympus BX53M，最大放大倍数1500×