检测项目

1.真空度测试：测量系统极限压力（110⁻⁴~110⁻⁹Pa）及压力稳定性（5%波动范围）

2.气体成分分析：定量检测H₂O（≤50ppm）、O₂（≤20ppm）、N₂（≤30ppm）等残余气体含量

3.漏率测试：氦质谱法测定系统漏率（≤110⁻⁹Pam/s）

4.材料放气率：单位面积放气量测定（≤510⁻TorrL/(scm)）

5.表面污染度：粒子计数（≥0.3μm颗粒≤100个/m）及有机物残留（≤10ng/cm）

检测范围

1.半导体晶圆制造设备腔体及真空传输模块

2.光学镀膜用高纯金属靶材（纯度≥99.999%）

3.航天器密封舱体及推进系统阀门组件

4.医用伽马射线灭菌装置真空隔离室

5.超导材料低温处理系统真空绝热层

检测方法

ASTME595-07(2019)：材料总质量损失与挥发物冷凝测定标准

ISO14644-8:2022：洁净室及相关受控环境第8部分：化学污染分级

GB/T3163-2007：真空技术术语与定义

GB/T32218-2015：真空系统漏率测试方法

ASTMF1375-92(2020)：氦质谱检漏仪校准标准

检测设备

Agilent5977BGC/MSD：气相色谱-质谱联用仪，用于有机物残留定量分析（检出限0.1ppb）

INFICONUL1000Fab氦质谱检漏仪：最小可检漏率110⁻mbarL/s

PfeifferVacuumHPT200复合真空计：测量范围110⁻⁴~110⁻mbar

SierraInstrumentsSmartTrak100：质量流量计精度0.5%读数+0.1%满量程

TSIAeroTrak9310粒子计数器：0.3~25μm粒径分6通道计数

MKSMicroPirani925压力传感器：量程1000Torr~110⁻⁴Torr线性响应

HORIBASTECM-230气体分析仪：四极质谱残余气体分析系统

ThermoScientificNicoletiS50FTIR：红外光谱表面污染物定性分析

KurtJ.LeskerKJLCTSP-900分子泵机组：极限真空510⁻⁸Torr涡轮分子泵系统