检测项目

电离阈值测定（能量范围：5-30 eV，精度±0.05 eV）

电离截面计算（测量误差≤1.5%，覆盖10⁻²⁰-10⁻¹⁶ cm²区间）

电离效率评估（单色电子束流强度0.1-10 μA）

电离产物分布分析（质量分辨率≥10,000 FWHM）

电离稳定性测试（持续时长0-72小时，温度控制±0.5℃）

检测范围

半导体材料（硅晶圆、GaAs、GaN等化合物半导体）

生物医学材料（药物活性成分、蛋白质复合物）

聚合物材料（聚酰亚胺、聚四氟乙烯等耐高温高分子）

金属合金（钛合金、镍基高温合金）

纳米材料（碳纳米管、量子点、石墨烯）

检测方法

ASTM E1508-12：电离阈值测定标准（电子轰击法）

ISO 18117:2018：表面电离产物定量分析规程

GB/T 22369-2008：电离效率计算与验证方法

ASTM F1710-08：半导体材料电离稳定性测试

ISO 21257:2019：高分辨率电离产物质谱检测规范

检测设备

TOF-SIMS IV型飞行时间二次离子质谱仪（日本ULVAC-PHI，质量分辨率15,000）

Thermo Scientific ESCALAB Xi+ X射线光电子能谱仪（能量分辨率0.45 eV）

Agilent 8900 ICP-QQQ-MS电感耦合等离子体质谱（检测限0.1 ppt）

JEOL JAMP-9500F场发射电子探针（束斑直径5 nm）

SPECS PHOIBOS 150半球型电子能量分析仪（角度分辨率±0.1°）