检测项目
1.晶格常数测定:a轴(0.3-1.2nm)、b轴(0.4-1.5nm)、c轴(0.5-2.0nm)三维参数测量
2.晶体取向偏差分析:0.05~5范围内取向角偏差检测
3.位错密度评估:10^4~10^12cm^-2缺陷密度定量分析
4.晶界特征统计:大角度晶界(>15)与小角度晶界(<15)比例测定
5.织构系数计算:ODF取向分布函数中最大强度值f(g)≥1.5的织构组分识别
检测范围
1.金属合金:钛合金TC4/TA15、铝合金6061/7075等航空航天材料
2.陶瓷材料:氧化锆(ZrO2)、碳化硅(SiC)等高温结构陶瓷
3.半导体材料:GaN基HEMT器件、SiC功率模块等电子元件
4.功能薄膜:磁控溅射制备的TiN/AlN多层膜系
5.地质矿物:斜方辉石类矿物(Enstatite)的晶体结构解析
检测方法
1.X射线衍射法:ASTME112-13标准晶粒尺寸测定、GB/T13298-2015金属显微组织检验
2.电子背散射衍射:ISO24173:2009晶体取向分析规范
3.透射电子显微镜:GB/T23414-2009微束分析标准方法
4.同步辐射技术:ISO22278:2020高分辨X射线衍射规程
5.中子衍射法:ASTME1426-14残余应力测试标准
检测设备
1.X射线衍射仪:PANalyticalX'Pert3MRD,配备CuKα辐射源(λ=0.15406nm)
2.场发射扫描电镜:FEINovaNanoSEM450,EBSD分辨率≤0.1μm
3.透射电子显微镜:JEOLJEM-ARM300F,点分辨率0.08nm
4.三维原子探针:CAMECALEAP5000XS,质量分辨率m/Δm≥1500
5.X射线应力分析仪:ProtoLXRD,Ψ角范围45可调
6.同步辐射装置:上海光源BL14B1线站,能量范围5-20keV
7.高温原位平台:AntonPaarDHS1100,最高温度1600℃
8.EBSD探测器:OxfordInstrumentsSymmetryS2,采集速度≥3000pps
9.XRD光学系统:Hybridmonochromator,发散度≤0.02
10.样品制备系统:GatanPIPSII691,离子束能量0.1-8keV可调