检测项目

1.元素组成分析：定量测定材料中C/O/N等元素含量（精度0.1at%）

2.表面形貌观测：实现0.8nm分辨率的三维表面重构

3.化学键态表征：识别C-C/C=O等官能团（结合能误差≤0.3eV）

4.深度剖面分析：离子刻蚀速率0.1-10nm/s可调

5.晶体结构解析：晶格常数测量精度达0.002

检测范围

1.半导体材料：硅片/氮化镓外延层/二维过渡金属硫化物

2.金属合金：钛铝合金/镍基高温合金/形状记忆合金

3.纳米材料：量子点/碳纳米管/金属有机框架材料

4.生物医学材料：骨植入物涂层/药物载体/生物传感器

5.环境污染物：PM2.5颗粒物/重金属污染土壤/微塑料

检测方法

1.X射线光电子能谱法（ISO15472:2010/GB/T29558-2013）

2.俄歇电子能谱法（ASTME983-19/GB/T35031-2018）

3.二次离子质谱法（ISO23830:2021/ASTME1508-98(2021)）

4.透射电子显微镜法（ISO25498:2018/GB/T36065-2018）

5.X射线衍射法（ISO20203:2005/GB/T23413-2009）

检测设备

1.ThermoScientificK-AlphaXPS系统：配备单色化AlKα源（1486.6eV），能量分辨率<0.5eV

2.JEOLJSM-7900F场发射SEM：搭载EDS探测器（元素分析范围B-U）

3.BrukerD8ADVANCEXRD：Cu靶光源（λ=1.5406），测角仪精度0.0001

4.ULVAC-PHINanoTOFIISIMS：质量分辨率m/Δm≥15,000@m/z=29

5.FEITalosF200XTEM：点分辨率0.16nm，STEM模式HAADF探测器

6.HORIBALabRAMHREvolution拉曼光谱仪：532nm激光器，光谱分辨率0.35cm⁻

7.Agilent8900ICP-MS/MS：检出限低至ppt级，质量数范围3-270amu

8.ParkNX20原子力显微镜：Z轴噪声<0.05nm，最大扫描范围100100μm

9.PerkinElmerSTA8000同步热分析仪：温度范围RT-1500℃，TG灵敏度0.1μg

10.MalvernZetasizerNanoZSP：粒径测量范围0.3nm-10μm，Zeta电位精度2mV