检测项目

1.表面棘状结构高度测量：精度0.05μm（量程0.1-50μm）

2.基底结合强度测试：剪切力范围5-200N（分辨率0.01N）

3.三维形貌重构：Z轴分辨率10nm（扫描面积2020mm）

4.耐磨损性能评估：载荷0.5-50N（摩擦系数重复性2%）

5.化学组分分析：EDS能谱元素检出限0.1wt%（加速电压5-30kV）

检测范围

1.航空航天钛合金丝材（TC4/TC18）表面处理层

2.MEMS器件微机电系统硅基棘齿结构

3.骨科植入物羟基磷灰石涂层界面

4.精密模具渗氮层表面强化处理件

5.半导体引线框架电镀铜凸点阵列

检测方法

ASTME2867-19《微米级表面形貌白光干涉测量法》

ISO26443:2008《硬质涂层界面结合强度划痕试验》

GB/T34879-2017《微纳米压痕硬度测试方法》

ISO25178-2:2022《产品几何量技术规范表面结构区域法》

GB/T17722-2021《金属覆盖层厚度测量扫描电镜法》

检测设备

KeyenceVHX-7000数码显微镜：4KCMOS实现50nm景深合成

BrukerContourGT-X3白光干涉仪：0.01nm垂直分辨率

AntonPaarRevetestRST划痕仪：最大载荷500N闭环控制

Instron5967万能试验机：0.4级精度动态加载系统

ZeissSigma500场发射电镜：1nm分辨率能谱联用系统

ShimadzuHMV-G21显微硬度计：10μN~10kgf全量程覆盖

BrukerD8ADVANCEXRD衍射仪：Cu靶λ=0.15406nm晶体分析

CETRUMT-TriboLab摩擦磨损仪：高温1000℃原位观测模块