检测项目

平均晶界角：15°~45°，偏差≤±3°

晶界角分布范围：5°~65°，统计区间≤5°

大角度晶界（≥15°）比例：≥70%

小角度晶界（＜15°）比例：≤30%

特殊晶界（Σ3、Σ9等）比例：5%~20%

检测范围

金属材料：铝合金、钛合金、不锈钢等

陶瓷材料：氧化铝、碳化硅、氮化硅等

半导体材料：单晶硅、砷化镓、磷化铟等

复合材料：碳纤维增强复合材料、金属基复合材料等

高温合金：镍基合金、钴基合金等

检测方法

ASTM E2627：电子背散射衍射（EBSD）分析法

ISO 21466：基于扫描电镜的晶界形貌定量分析

GB/T 34487：金相显微镜法测定晶界角度

ASTM E112：晶粒度与晶界特性关联性测试

GB/T 4334：X射线衍射（XRD）晶界统计分析法

检测设备

Oxford Instruments Symmetry EBSD探测器：菊池花样采集精度0.1°，分辨率≤0.5μm

FEI Quanta 650 SEM：配备场发射电子枪，成像分辨率1.2nm@15kV

Bruker D8 DISCOVER X射线衍射仪：角度测量精度±0.001°，2θ范围0°~165°

Zeiss Axio Imager M2m金相显微镜：5000倍光学放大，晶界对比度增强模块

Thermo Fisher Apreo 2 SEM：低电压模式（≤5kV）下晶界清晰度优化功能