检测项目

平均晶界角:15°~45°,偏差≤±3°

晶界角分布范围:5°~65°,统计区间≤5°

大角度晶界(≥15°)比例:≥70%

小角度晶界(<15°)比例:≤30%

特殊晶界(Σ3、Σ9等)比例:5%~20%

检测范围

金属材料:铝合金、钛合金、不锈钢等

陶瓷材料:氧化铝、碳化硅、氮化硅等

半导体材料:单晶硅、砷化镓、磷化铟等

复合材料:碳纤维增强复合材料、金属基复合材料等

高温合金:镍基合金、钴基合金等

检测方法

ASTM E2627:电子背散射衍射(EBSD)分析法

ISO 21466:基于扫描电镜的晶界形貌定量分析

GB/T 34487:金相显微镜法测定晶界角度

ASTM E112:晶粒度与晶界特性关联性测试

GB/T 4334:X射线衍射(XRD)晶界统计分析法

检测设备

Oxford Instruments Symmetry EBSD探测器:菊池花样采集精度0.1°,分辨率≤0.5μm

FEI Quanta 650 SEM:配备场发射电子枪,成像分辨率1.2nm@15kV

Bruker D8 DISCOVER X射线衍射仪:角度测量精度±0.001°,2θ范围0°~165°

Zeiss Axio Imager M2m金相显微镜:5000倍光学放大,晶界对比度增强模块

Thermo Fisher Apreo 2 SEM:低电压模式(≤5kV)下晶界清晰度优化功能