检测项目

1.空间分辨率检测：点分辨率，线分辨率，信息分辨率。

2.放大倍数校准：低倍率偏差，高倍率偏差，全量程线性度。

3.电子束性能评估：束斑尺寸，束流稳定性，束流强度。

4.加速电压测试：高压波动率，高压纹波，长期稳定性。

5.成像系统检测：图像畸变率，信噪比，相机灵敏度。

6.样品台精度评估：移动重复性，倾转精度，机械漂移率。

7.真空系统检测：极限真空度，抽气速率，漏气率。

8.衍射功能测试：相机常数校准，衍射斑点圆度，选区精度。

9.谱仪附件分析：能量分辨率，探测效率，峰背比。

10.扫描透射检测：暗场成像分辨率，明场成像对比度，扫描探针稳定性。

11.能量损失谱测试：能量分辨率，色散率线性度，零损耗峰宽度。

12.冷却系统评估：水冷温度稳定性，制冷剂消耗率，防污染器效率。

检测范围

点分辨率标准测试金颗粒、线分辨率标准测试石棉交叉晶体、放大倍数校准微光栅样品、相机常数校准多晶铝膜、相机常数校准多晶铊标准件、衍射分析单晶硅测试片、能谱仪校准标准铜网、谱仪能量分辨率锰测试样、电子束斑测试碳膜微孔、真空系统污染测试非晶碳膜、三维重构校准金纳米球、冷冻传输测试专用冰微滴、扫描透射校准重金属颗粒、磁性透镜校准镍微粉、高分辨成像石墨化碳标准件

检测设备

1.高精度数字万用表：用于测量和校准透射电子显微镜内部各项电气参数；具备极高的电压和电流测量分辨率。

2.高压分压器：用于精准检测电子枪加速电压的真实值与波动情况；具有极低的温度系数和高稳定性。

3.标准微光栅测微尺：用于校准显微镜各个放大倍率下的实际物理尺寸；表面刻有已知精度的周期性微小结构。

4.皮安电流表：用于测试打在荧光屏或探测器上的微弱电子束流强度；能够捕捉极低量级的电流变化。

5.氦质谱检漏仪：用于检测显微镜真空系统的气密性与微小漏率；具备极高的气体示踪灵敏度。

6.复合真空计：用于实时监测和验证样品室与电子枪区域的真实真空度；覆盖从低真空到超高真空的宽量程测量范围。

7.测振仪：用于评估显微镜安装环境及设备本体的机械振动情况；可精确捕捉微米级别的低频震动。

8.环境磁场测试仪：用于检测设备周围环境中的空间磁场干扰强度；能够多轴向测量静态与动态磁场。

9.高精度温度记录仪：用于持续监测冷却水系统及实验室环境的温度波动；具备多通道同步记录与高灵敏度探头。

10.图像信号示波器：用于分析各类探测器输出信号的波形与信噪比；支持高频信号捕获与底层噪声分析。