检测项目

1. 径向示值误差(≤0.05+0.5×测量值μm)

2. 轴向示值误差(≤0.1μm)

3. 系统噪声(≤0.02μm)

4. 主轴回转精度(≤0.03μm径向)

5. 圆度测量重复性(≤0.01μm)

检测范围

1. 高精度圆度仪：主轴回转精度0.02μm型

2. 普通圆度仪：主轴回转精度0.1μm型

3. 圆柱度仪：可测圆柱度及同心度

4. 工件类：轴承内外圈及钢球

5. 标准器类：半球标准器及椭圆标准器

检测方法

1. JJF 1112-2003 圆度仪校准规范

2. GB/T 7234-2004 产品几何量技术规范(GPS)圆度测量术语定义及参数

3. GB/T 7235-2004 产品几何量技术规范(GPS)评定圆度误差的方法

4. ISO 12181-1:2011 Geometrical product specifications(GPS)—Roundness

5. JJG 429-2000 圆度仪检定规程

检测设备

1. 半球标准器(标准件)：球径25mm圆度≤0.02μm

2. 椭圆标准器(标准件)：椭圆度1μm标准量

3. 标准间隙规(成套)：厚度0.05~1mm组

4. 激光干涉仪(Renishaw XL-80)：分辨率1nm线性测量精度±0.5ppm

5. 扭簧比较仪(Mahr 828)：分度0.0001mm量程±0.03mm

6. 精密量块(83块组)：00级平面平行度≤0.05μm

7. 大理石平台(00级)：平面度≤3μm/1000mm

8. 电感测微仪(Tesa TT300)：分辨率1nm量程±50μm