检测项目

1.离子残留：总离子含量、阳离子含量、阴离子含量。

2.卤素离子：氯离子、溴离子、氟离子。

3.无机阴离子：硝酸根、硫酸根、磷酸根。

4.有机酸根：乙酸根、甲酸根、草酸根。

5.金属离子：钠离子、钾离子、钙离子。

6.过渡金属：铁离子、铜离子、镍离子。

7.氨盐离子：铵离子、胺盐离子、季铵离子。

8.表面污染：表面离子密度、局部离子分布、污染均匀性。

9.溶出特性：离子溶出速率、溶出总量、溶出稳定性。

10.迁移风险：离子迁移倾向、吸湿迁移、偏压迁移。

11.清洗效果：清洗前后离子差异、残留下降率、重复性。

12.工艺影响：制程前后离子变化、材料兼容性、热处理影响。

检测范围

硅片、晶圆、外延片、光刻胶、显影液、清洗液、刻蚀液、抛光液、封装树脂、焊料、引线框架、芯片封装体、载板、芯片保护膜、基板、探针卡、芯片切割胶、助焊剂

检测设备

1.离子色谱仪：用于分离并定量多种阴阳离子成分。

2.电感耦合等离子体质谱仪：用于痕量金属离子定量分析。

3.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于多元素金属离子含量检测。

4.离子选择电极仪：用于特定离子快速测定。

5.表面离子分析仪：用于表面离子密度与分布评估。

6.超纯水制备系统：用于提供低背景离子测试用水。

7.超声清洗器：用于样品前处理与污染去除。

8.恒温恒湿箱：用于离子迁移与吸湿影响试验。

9.微量天平：用于样品质量与溶出量评估。

10.真空干燥箱：用于样品干燥与水分影响控制。