检测项目

1.阳离子分析：钠离子，钾离子，铵离子，锂离子，钙离子，镁离子。

2.阴离子分析：氯离子，氟离子，溴离子，硝酸根，硫酸根，磷酸根。

3.有机酸根分析：乙酸根，甲酸根，乳酸根，草酸根，柠檬酸根，丙酸根。

4.表面离子残留测试：晶圆表面离子残留，金属层表面离子残留，焊盘表面离子残留，封装表面离子残留。

5.超纯水离子检测：痕量阳离子测定，痕量阴离子测定，总离子污染评估，清洗水离子监控。

6.化学品离子杂质检测：酸液离子杂质，碱液离子杂质，溶剂离子杂质，蚀刻液离子杂质。

7.封装材料离子析出测试：塑封料离子析出，引线框架残留离子，基板材料离子析出，粘结材料离子释放。

8.助剂与辅料离子检测：清洗剂离子含量，显影液离子杂质，剥离液离子残留，添加剂离子污染。

9.环境沉降离子分析：洁净环境沉降离子，工艺区域表面离子，擦拭取样离子，空气冷凝液离子检测。

10.工艺残留离子评估：刻蚀后离子残留，清洗后离子残留，镀膜后离子污染，封装后离子残留。

11.材料浸提液离子检测：浸提液阳离子，浸提液阴离子，浸提液有机酸根，浸提液总离子评估。

12.失效相关离子分析：腐蚀相关离子筛查，电迁移相关离子分析，漏电风险离子排查，界面污染离子识别。

检测范围

硅晶圆、外延片、光刻胶、掩膜版、芯片裸片、键合线、引线框架、封装基板、塑封料、焊料、助焊残留物、清洗剂、显影液、蚀刻液、剥离液、超纯水、工艺用化学试剂、载具、晶圆盒、擦拭材料

检测设备

1.离子色谱仪：用于分离和测定样品中的阴离子、阳离子及部分有机酸根，适用于痕量离子分析。

2.电导率仪：用于测定液体样品的电导变化，辅助评估水质纯净度和离子总体水平。

3.酸碱度测定仪：用于检测溶液酸碱度，辅助判断样品提取液和工艺液体的化学状态。

4.超纯水制备系统：用于提供低本底实验用水，降低测试过程中的外源离子干扰。

5.恒温提取装置：用于控制样品浸提温度和时间，支持材料离子析出和表面残留提取。

6.超声提取装置：用于促进样品表面或内部离子释放，提高浸提效率和检测重复性。

7.分析天平：用于样品称量和试剂配制，保障测试过程中的质量控制精度。

8.洁净实验操作台：用于样品前处理和分装操作，减少环境背景对痕量离子测试的影响。

9.微孔过滤装置：用于去除提取液中的颗粒杂质，保护分析系统并提高测试稳定性。

10.数据采集处理系统：用于记录色谱信号、处理检测数据及完成离子含量计算与结果整理。