检测项目
1. 示值相对误差(≤±5% 热电型)
2. 光谱响应不均匀性(±2%在波长范围内)
3. 重复性RSD(≤2%同一功率点6次测量)
4. 最大允许功率密度(≥1kW/cm²热释电探头)
5. 响应时间常数(≤2s热电型达95%)
检测范围
1. 热电型激光功率计:10mW~100W量程
2. 光电型激光功率计:1μW~1W量程Si探测器
3. 热释电型激光能量计:1mJ~100J脉冲激光
4. 高功率激光功率计:100W~10kW CO2激光
5. 紫外激光功率计:266nm/355nm专用功率计
检测方法
1. JJG 249-2016 激光功率计检定规程
2. JJF 1187-2008 热电型激光功率计校准规范
3. ISO 11146-1:2021 Lasers and laser-related equipment—Test methods
4. GB/T 15175-2018 激光功率能量测试仪器规范
5. IEC 61040:1990 Power and energy measuring detectors
检测设备
1. 标准激光功率计(Thermopile Ophir 3A):量程10mW~3W精度±2%
2. 标准激光功率计(Ophir 30K-W):量程100W~30kW精度±3%
3. 标准激光能量计(Ophir PE50):量程0~50J精度±2%
4. 氦氖激光器(632.8nm 5mW):功率稳定度±1%2h
5. CO2激光器(10.6μm 100W):功率稳定度±2%1h
6. 可调衰减器(ND滤光片):衰减率10^-4~10^0连续可调
7. 光束质量分析仪(Ophir SP928):CCD分辨率2048×2048像素
8. 数据采集系统(定制):多通道实时功率记录