芯片过滤检测

检测项目

1. 颗粒截留效率：0.1μm颗粒截留率≥99.99%，0.05μm颗粒截留率≥95%

2. 气泡点压力：测定过滤器最大孔径，气泡点压力≥0.35MPa（0.1μm膜）

3. 流速测试：纯水流速≥100mL/min·cm²，压降≤0.1MPa@10L/min

4. 完整性测试：扩散流试验、水侵入试验，扩散流≤15mL/min

5. 使用寿命：容尘量测定，累积过滤体积≥1000L@0.2μm颗粒负荷

检测范围

1. 光刻胶过滤器：0.05-0.2μm PTFE膜过滤器，用于光刻胶除颗粒

2. CMP浆料过滤器：0.1-0.5μm尼龙/PP过滤器，抛光液过滤

3. 超纯水过滤器：0.05-0.1μm PVDF膜过滤器，UPW终端过滤

4. 工艺气体过滤器：0.003-0.01μm HEPA/ULPA过滤器，洁净气体过滤

5. 化学品过滤器：0.1-0.2μm PTFE/PE过滤器，湿法化学品过滤

检测方法

1. ISO 11170:2003 液压滤芯 多次通过试验方法

2. ASTM F838-15 液体过滤器细菌截留试验方法

3. GB/T 6165-2008 高效空气过滤器性能试验方法

4. IEST-RP-CC021.3 过滤器完整性测试方法

5. SEMI F38-1101 半导体工艺液体过滤器测试方法

检测设备

1. 颗粒计数器(PMS LiQuilaz S02)：粒径范围0.1-100μm，计数浓度0-30000颗/mL

2. 气泡点测试仪(Sartorius Sartocheck 4)：压力范围0-1MPa，精度±0.5%

3. 完整性测试仪(Palltronic Flowstar IV)：扩散流、水侵入多种模式

4. 流量计(Brooks 5881)：量程0-100L/min，精度±1%

5. 压差变送器(Rosemount 3051S)：量程0-1MPa，精度±0.075%

6. 激光粒度仪(Malvern Mastersizer 3000)：粒径范围0.01-3500μm

7. 超纯水电阻率仪(Mettler Toledo Thornton 770)：量程0-18.2MΩ·cm

8. 洁净工作台(ESCO Labculture)：ISO Class 5洁净环境，风速0.3-0.5m/s

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"芯片过滤检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。