检测项目
1. 颗粒截留效率：0.1μm颗粒截留率≥99.99%，0.05μm颗粒截留率≥95%
2. 气泡点压力：测定过滤器最大孔径，气泡点压力≥0.35MPa（0.1μm膜）
3. 流速测试：纯水流速≥100mL/min·cm²，压降≤0.1MPa@10L/min
4. 完整性测试：扩散流试验、水侵入试验，扩散流≤15mL/min
5. 使用寿命：容尘量测定，累积过滤体积≥1000L@0.2μm颗粒负荷
检测范围
1. 光刻胶过滤器：0.05-0.2μm PTFE膜过滤器，用于光刻胶除颗粒
2. CMP浆料过滤器：0.1-0.5μm尼龙/PP过滤器，抛光液过滤
3. 超纯水过滤器：0.05-0.1μm PVDF膜过滤器，UPW终端过滤
4. 工艺气体过滤器：0.003-0.01μm HEPA/ULPA过滤器，洁净气体过滤
5. 化学品过滤器：0.1-0.2μm PTFE/PE过滤器，湿法化学品过滤
检测方法
1. ISO 11170:2003 液压滤芯 多次通过试验方法
2. ASTM F838-15 液体过滤器细菌截留试验方法
3. GB/T 6165-2008 高效空气过滤器性能试验方法
4. IEST-RP-CC021.3 过滤器完整性测试方法
5. SEMI F38-1101 半导体工艺液体过滤器测试方法
检测设备
1. 颗粒计数器(PMS LiQuilaz S02)：粒径范围0.1-100μm，计数浓度0-30000颗/mL
2. 气泡点测试仪(Sartorius Sartocheck 4)：压力范围0-1MPa，精度±0.5%
3. 完整性测试仪(Palltronic Flowstar IV)：扩散流、水侵入多种模式
4. 流量计(Brooks 5881)：量程0-100L/min，精度±1%
5. 压差变送器(Rosemount 3051S)：量程0-1MPa，精度±0.075%
6. 激光粒度仪(Malvern Mastersizer 3000)：粒径范围0.01-3500μm
7. 超纯水电阻率仪(Mettler Toledo Thornton 770)：量程0-18.2MΩ·cm
8. 洁净工作台(ESCO Labculture)：ISO Class 5洁净环境，风速0.3-0.5m/s