检测项目
1.电离能测定：测量范围5-30eV，能量分辨率≤0.02eV，绝对精度±0.05eV
2.结合能分析：X射线源AlKα1486.6eV，结合能范围0-1500eV，分辨率≤0.5eV
3.振动精细结构解析：紫外光源HeI21.22eV，振动能级分辨率0.01eV
4.角分辨光电子能谱：角度范围0-90°，步进精度±0.1°，电子发射角分布分析
5.自旋极化测量：自旋分辨率≥0.8，磁场强度0-1T可调
6.光电离截面测定：相对截面测量精度±5%，光子能量范围10-150eV
7.俄歇电子能谱分析：俄歇电子能量范围50-2000eV，元素识别灵敏度0.1at%
8.价带结构测绘：能量扫描步长0.05eV，费米边定位精度±0.02eV
9.化学位移分析：核心能级化学位移分辨率0.1eV，元素氧化态鉴定
10.真空紫外光电子能谱：同步辐射光源5-40eV，能带结构测量精度±0.01eV
11.飞行时间质谱联用：质量分辨率m/Δm≥2000，质量范围1-500amu
12.低温样品台测试：温度范围10-300K，控温精度±0.5K，冷凝气体分析
检测范围
1.惰性气体：氦、氖、氩、氪、氙的精确电离能测定
2.腐蚀性气体：氯气、氟化氢、硫化氢的化学状态分析
3.半导体工艺气体：硅烷、磷烷、硼烷的杂质检测限0.1ppm
4.温室气体：二氧化碳、甲烷、六氟化硫的分子轨道分析
5.燃烧气体产物：一氧化碳、氮氧化物、二氧化硫的氧化态鉴定
6.有机挥发气体：苯系物、醛类、酮类的价带结构测绘
7.超高纯度气体：氮气、氧气、氢气中微量杂质分析
8.同位素标记气体：¹³CO₂、D₂O、¹⁵N₂的同位素位移测量
9.激发态气体：亚稳态氦、氙准分子激光介质分析
10.等离子体处理气体：CF₄、SF₆、N₂O的裂解产物鉴定
11.大气监测气体：臭氧、挥发性有机物、氟利昂的定性定量
12.特种混合气体：焊接保护气、医疗麻醉气、校准标准气的组分分析
检测方法
国际标准：
ASTME1523-15紫外光电子能谱仪能量校准标准方法
ISO17973:2016中分辨率X射线光电子能谱仪能量标尺校准
ISO17974:2018高分辨率电子能谱仪能量标尺校准
ASTME902-05(2015)X射线光电子能谱仪性能检查
ISO20903:2019俄歇电子能谱和X射线光电子能谱强度标度的重复性和一致性
ASTME984-12(2020)电子能谱中峰识别指南
ISO21270:2004X射线光电子能谱仪强度标度的线性度
ISO24236:2005俄歇电子能谱重复性和一致性
ASTME995-16俄歇电子能谱和X射线光电子能谱本底扣除指南
ISO19318:2021X射线光电子能谱元素灵敏度因子报告
国家标准：
GB/T25184-2010X射线光电子能谱方法通则
GB/T31470-2015俄歇电子能谱分析方法通则
GB/T28894-2012表面化学分析X射线光电子能谱强度标的重复性和一致性
GB/T21006-2007表面化学分析X射线光电子能谱仪能量标尺校准
GB/T22571-2017表面化学分析X射线光电子能谱仪元素灵敏度因子的测定
GB/T29731-2013表面化学分析X射线光电子能谱本底扣除方法
GB/T30702-2014表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱测定样品功函数的方法
GB/T36533-2018表面化学分析X射线光电子能谱纳米颗粒涂层分析
GB/T41576-2022表面化学分析X射线光电子能谱聚合物分析
GB/T42647-2023气体样品的紫外光电子能谱分析方法
检测设备
1.高分辨率紫外光电子能谱仪：型号UPS-3000.配备HeI/HeII双光源，能量分辨率≤3meV
2.X射线光电子能谱系统：型号XPS-5000.单色化AlKα源，空间分辨率≤10μm
3.角分辨光电子能谱仪：型号ARPES-2000.二维电子分析器，角度分辨率±0.2°
4.同步辐射光电子能谱终端：光束线能量范围5-2000eV，光斑尺寸≤100μm
5.飞行时间光电子能谱质谱联用仪：型号TOF-PES-800.质量分辨率≥4000
6.低温样品操纵器：型号CRYO-100.工作温度10-400K，温度稳定性±0.1K
7.高压气体处理系统：型号GAS-600.最大压力10MPa，泄漏率≤10⁻¹⁰Pa·m³/s
8.差分抽气系统：型号DPS-400.分析室真空≤5×10⁻¹⁰mbar，样品室真空≤1×10⁻⁸mbar
9.电子能量分析器：型号HEA-150.能量分析范围0-5000eV，通过能0.1-200eV可调
10.多通道板探测器：型号MCP-120.有效直径120mm，增益≥10⁷