检测项目

1.基础外形尺寸：总厚度、有效直径、边缘厚度、通光孔径。

2.面形精度参数：平面度、曲率半径、面形误差（峰谷值、均方根值）。

3.平行度与角度：两光学面的平行度、楔形角、棱镜的角度误差。

4.中心厚度与偏心：透镜中心厚度、光学中心与机械中心的偏心量。

5.表面微观轮廓：表面粗糙度、划痕深度、麻点直径。

6.孔径与槽位尺寸：安装孔孔径与位置度、定位槽的宽度与深度。

7.倒角与边缘轮廓：倒角宽度、角度、边缘崩边尺寸。

8.阵列元件间距：微透镜阵列的单元间距、阵列周期一致性。

9.镀膜区域尺寸：镀膜区的边界尺寸、非镀膜区的宽度。

10.形位公差综合：圆柱度、圆度、同轴度、位置度。

检测范围

光学平面窗口片、球面及非球面透镜、柱面镜、棱镜、光学反射镜、陶瓷基片、滤光片、微透镜阵列、激光腔体陶瓷、光纤连接器陶瓷插芯、光谱仪用狭缝片、陀螺仪陶瓷腔体、红外窗口、衍射光学元件、透明陶瓷盖板、光刻机用陶瓷工件台部件、荧光转换陶瓷片、光学编码盘、热成像系统用陶瓷镜座。

检测设备

1.高精度坐标测量机：用于测量复杂轮廓、孔位、空间尺寸及形位公差，具备三维空间精确探测能力。

2.激光测距仪与测厚仪：用于非接触式快速测量元件厚度、间隔及位移，精度可达微米级。

3.光学轮廓仪：用于非接触测量表面粗糙度、微观台阶高度及表面形貌，提供三维表面数据。

4.圆度仪与圆柱度仪：专门用于精密测量光学元件的圆度、圆柱度及同轴度等旋转体参数。

5.光谱椭偏仪：在测量膜厚的同时，可辅助分析特定膜层区域的边界尺寸与均匀性。

6.白光干涉仪：用于高精度测量表面形貌、平面度、台阶高度及微观结构尺寸，分辨率达纳米级。

7.自动影像测量仪：用于二维尺寸的快速测量，如孔径、槽宽、倒角及平面图形尺寸，具备图像识别功能。

8.端面干涉仪：专门用于测量光纤连接器陶瓷插芯的端面几何参数，包括曲率半径和顶点偏移。

9.精密测角仪：用于测量棱镜角度、光学元件的平行度与楔角，采用自准直或光电探测原理。

10.专用尺寸检测治具与规块：结合比对法，用于生产线上特定尺寸的快速批量检验与筛选。