检测项目

1. 可见光透光率(380-780nm范围，0-99%)

2. 紫外光透光率(200-380nm，0-90%)

3. 近红外透光率(780-2500nm，0-95%)

4. 折射率n(波长550nm下1.5-3.2)

5. 薄膜厚度(0.05-100μm，均匀性±2%)

检测范围

1. 磁控溅射钛膜：Ti厚度5-500nm

2. 阳极氧化钛膜：TiO₂彩色膜0.1-2μm

3. 蒸发镀钛薄膜：纯度99.99%Ti

4. 钛蓝宝石基薄膜：TiO₂厚度0.1-10μm

5. 钛合金PVD涂层：TiN/TiAlN多层膜

检测方法

1. GB/T 26331-2010 光学薄膜元件环境适应性试验方法

2. GB/T 26333-2010 工业用光学薄膜元件试验方法

3. ASTM E490-22 标准太阳光谱常数和大气质量零表

4. ISO 9059:2022 太阳辐照度测量方法

5. ASTM D1003-21 透明塑料雾度和透光率试验方法

检测设备

1. 紫外可见近红外分光光度计(PerkinElmer Lambda 1050+)：波长175-3300nm，带宽0.05-15nm

2. 透光率雾度测定仪(WGT-S)：波长380-780nm，雾度量程0-30%

3. 椭偏仪(J.A. Woollam M-2000)：波长193-1690nm，入射角45-90°

4. 膜厚测量仪(Filmetrics F20)：分辨率0.1nm，厚度1nm-1mm

5. 光谱椭偏仪(Horiba UVISEL Plus)：能量0.6-8eV，分辨率0.3nm

6. 积分球光谱仪(Labsphere LMS-700)：内径150mm，反射率0-150%

7. 激光干涉仪(Zygo NewView 700)：垂直分辨率0.1nm，量程2mm

8. 薄膜应力测试仪(Toho FLX-2320)：精度0.1MPa，温度室温-500℃

9. 太阳光模拟器(Newport 94123A)：3A级，辐照度1000W/m²