电子级乙醇胺金属杂质测试

检测项目

1.钠（Na）含量：检测限≤0.1μg/L，允许浓度范围0.1-5.0μg/L

2.钾（K）含量：检测限≤0.1μg/L，允许浓度范围0.1-3.0μg/L

3.钙（Ca）含量：检测限≤0.2μg/L，允许浓度范围0.2-10.0μg/L

4.镁（Mg）含量：检测限≤0.1μg/L，允许浓度范围0.1-8.0μg/L

5.铁（Fe）含量：检测限≤0.3μg/L，允许浓度范围0.3-15.0μg/L

6.铜（Cu）含量：检测限≤0.05μg/L，允许浓度范围0.05-2.0μg/L

7.锌（Zn）含量：检测限≤0.1μg/L，允许浓度范围0.1-5.0μg/L

8.镍（Ni）含量：检测限≤0.1μg/L，允许浓度范围0.1-4.0μg/L

9.铬（Cr）含量：检测限≤0.1μg/L，允许浓度范围0.1-3.0μg/L

10.铝（Al）含量：检测限≤0.2μg/L，允许浓度范围0.2-12.0μg/L

11.铅（Pb）含量：检测限≤0.05μg/L，允许浓度范围0.05-1.0μg/L

12.镉（Cd）含量：检测限≤0.02μg/L，允许浓度范围0.02-0.5μg/L

13.总金属杂质含量：累计浓度限值≤50.0μg/L，单项最高浓度≤20.0μg/L

14.颗粒物污染指数：≥0.5μm颗粒数≤100/mL，≥0.2μm颗粒数≤500/mL

15.阴离子残留量：氯离子≤0.1mg/L，硫酸根离子≤0.2mg/L

检测范围

1.半导体级乙醇胺：用于晶圆清洗工艺，金属杂质总量要求≤10μg/L

2.显示面板用乙醇胺：适用于OLED/LCD制造，钠钾含量需≤0.5μg/L

3.光伏电池制备乙醇胺：用于太阳能电池蚀刻液，铁镍控制限值≤1.0μg/L

4.集成电路封装乙醇胺：应用于封装材料合成，铜铅含量需≤0.2μg/L

5.光刻胶剥离液乙醇胺：用于光刻工艺，金属杂质浓度需满足G5标准

6.蚀刻液配方乙醇胺：适用于硅/玻璃蚀刻，钙镁含量≤2.0μg/L

7.CMP抛光液乙醇胺：用于化学机械抛光，颗粒物控制需符合0.1μm标准

8.高纯电子化学品乙醇胺：纯度≥99.9999%，13种金属单项≤0.1μg/L

9.锂电池电解液添加剂乙醇胺：镍锌含量需≤0.3μg/L

10.光纤预制棒制备乙醇胺：铁铜含量需≤0.2μg/L，颗粒数≤50/mL

11.超导材料合成乙醇胺：特定金属杂质需≤0.05μg/L

12.纳米材料制备乙醇胺：金属杂质总量≤5.0μg/L，粒径分布需监控

13.电子特气纯化乙醇胺：用于气体纯化系统，阴离子残留需≤0.05mg/L

检测方法

国际标准：

ASTME1479-16电感耦合等离子体质谱法测定高纯化学品中痕量元素

ISO17294-2:2022水质-电感耦合等离子体质谱法应用指南

SEMIC32-0218电子级乙醇胺规格及测试方法

ASTMD6800-21高纯水中超痕量金属测试指南

ISO21587-3:2021硅酸盐材料化学分析-ICP-OES法

ASTMD1976-20高纯化学品中阴离子检测方法

ISO23919:2020电子级化学品颗粒计数标准

SEMIF73-0308化学品中颗粒物测试规范

ASTME1601-19痕量元素分析质量控制标准

ISO17034:2016标准物质生产者能力要求

国家标准：

GB/T33087-2023高纯化学品中痕量金属元素的测定ICP-MS法

GB/T39486-2020电子级乙醇胺技术规范

GB/T36590-2023电子级化学品颗粒检测方法

GB/T38399-2023电子特气杂质含量测定通用要求

GB/T33086-2023化学试剂电感耦合等离子体质谱分析方法通则

GB/T40111-2023电子级化学品中阴离子测定离子色谱法

GB/T39496-2023电子级化学品杂质限值规范

GB/T38401-2023痕量分析实验室质量控制指南

GB/T38398-2023高纯化学品采样规范

GB/T39488-2023电子级化学品运输和储存要求

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：型号ICPM-9000.检测下限0.01ng/L，分辨率0.75amu

2.超净室采样系统：型号CSS-100.Class1洁净环境，颗粒控制≤0.1μm

3.微波消解仪：型号MWD-800.最高温度300℃，压力100bar，控温精度±0.5℃

4.离子色谱仪：型号IC-600.阴离子检测下限0.05μg/L，梯度泵精度±0.1%

5.激光颗粒计数器：型号LPC-500.检测范围0.1-10μm，计数精度±3%

6.超纯水制备系统：型号UPW-1000.电阻率18.2MΩ·cm，金属杂质≤0.01ng/L

7.恒温恒湿天平室：型号BAL-600.温度控制20±0.5℃，湿度45±5%RH

8.惰性气体手套箱：型号GLOVE-300.氧含量≤0.1ppm，水含量≤0.1ppm

9.标准物质存储柜：型号RMS-400.温度控制-20℃至25℃，稳定性±0.1℃

10.在线监测系统：型号OMS-200.实时监测pH值、电导率、溶解氧，数据采集频率1Hz

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"电子级乙醇胺金属杂质测试"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。