电子级气体纯度检测

检测项目

1.水分含量检测：检测限≤0.1ppb，使用露点法或电容法，测量范围-100°C至20°C露点

2.氧含量检测：检测限≤0.01ppm，采用电化学或顺磁法，精度±0.005ppm

3.氮含量检测：检测限≤0.1ppm，通过气相色谱法，适用于惰性气体背景

4.总烃含量检测：检测限≤0.05ppm，使用火焰离子化检测器，测量甲烷当量浓度

5.颗粒物浓度检测：粒径≥0.1μm，计数精度±5%，采用激光散射原理

6.金属杂质检测：检测限≤0.001ppb，针对铁、钠、钾等元素，使用电感耦合等离子体质谱法

7.二氧化碳含量检测：检测限≤0.1ppm，通过非分散红外吸收法，测量范围0-100ppm

8.一氧化碳含量检测：检测限≤0.05ppm，采用红外光谱法，精度±0.01ppm

9.氢含量检测：检测限≤0.1ppm，使用热导检测器，适用于高纯气体背景

10.特定卤素杂质检测：检测限≤0.01ppm，针对氟、氯等，通过离子色谱法

11.氩气纯度验证：杂质总量≤1ppm，包括氧、氮、水分综合评估

12.氨含量检测：检测限≤0.1ppm，使用化学发光法或电化学传感器

13.二氧化硫含量检测：检测限≤0.05ppm，通过紫外荧光法，测量范围0-50ppm

14.氦气中氖杂质检测：检测限≤0.1ppm，采用质谱法，确保高纯氦气质量

15.一氧化二氮纯度检测：杂质含量≤0.5ppm，包括水分、氧和烃类综合指标

检测范围

1.高纯度氮气：纯度≥99.9999%，用于半导体制造中的惰性环境保护和清洗

2.高纯度氧气：纯度≥99.999%，应用于氧化工艺和反应气体，杂质控制严格

3.高纯度氩气：纯度≥99.9999%，用于溅射和沉积过程，避免金属污染

4.高纯度氢气：纯度≥99.999%，用于还原气氛和载气，重点检测氧和水分

5.高纯度氦气：纯度≥99.9999%，作为载气或检漏气体，强调氖和其他杂质限值

6.硅烷气体：纯度≥99.999%，用于化学气相沉积，检测金属杂质和颗粒物

7.磷烷气体：纯度≥99.999%，应用于掺杂工艺，关注水分和氧含量

8.四氟化碳气体：纯度≥99.999%，作为蚀刻气体，检测烃类和金属离子

9.六氟化硫气体：纯度≥99.999%，用于绝缘和蚀刻，重点测量分解产物和水分

10.硼烷气体：纯度≥99.999%，应用于掺杂，严格控制氢杂质和颗粒物

11.氨气：纯度≥99.999%，用于氮化工艺，检测水分和氧含量

12.一氧化二氮：纯度≥99.999%，作为氧化剂，评估烃类和二氧化碳杂质

13.三氟化氮：纯度≥99.999%，用于清洗和蚀刻，检测金属和颗粒物

14.氙气：纯度≥99.999%，应用于特殊照明和半导体，强调烃类和氧控制

15.氪气：纯度≥99.999%，用于激光和半导体工艺，检测氮和水分杂质

检测方法

国际标准：

ASTMD6368-14标准测试方法for气体中水分测定使用露点传感器

ISO8573-1:2019压缩空气污染物和纯度等级

ASTMD7649-10标准测试方法for气体中总烃含量测定使用火焰离子化检测器

ISO12039:2019固定源排放-一氧化碳、二氧化碳和氧气的测定

ASTMD6245-12标准测试方法for气体中氮的测定使用气相色谱法

ISO10715:2021天然气-采样指南

ASTMD7652-11标准测试方法for气体中颗粒物计数和大小分布

ISO19230:2020气体分析-采样系统设计导则

ASTMD7941-14标准测试方法for气体中氧的测定使用电化学传感器

ISO14167:2018气体分析-通用质量保证和控制指南

国家标准：

GB/T14605-2021气体中水分测定方法

GB/T5274-2021气体分析-校准用混合气体的制备

GB/T8981-2021气体中氧的测定电化学法

GB/T5832.1-2021气体中水分测定露点法

GB/T8984-2021气体中一氧化碳和二氧化碳测定非分散红外法

GB/T5275-2021气体分析-采样导则

GB/T10628-2021气体分析-颗粒物测定方法

GB/T34521-2021电子级气体中金属杂质测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T38386-2021气体分析-总烃测定火焰离子化检测器法

GB/T38693-2021气体分析-氨测定化学发光法

检测设备

1.露点水分分析仪：型号Dew-100，测量范围-100°C至20°C露点，精度±0.1°C

2.气相色谱仪：型号GC-5000，配备热导和火焰离子化检测器，检测限达ppb级

3.颗粒计数器：型号PC-200，激光散射原理，粒径检测范围0.1-10μm，计数效率≥95%

4.电感耦合等离子体质谱仪：型号ICP-MS-3000，用于金属杂质分析，检测限可达ppt级

5.非分散红外分析仪：型号NDIR-400，测量CO2和CO，精度±0.1ppm，范围0-1000ppm

6.电化学氧分析仪：型号O2-150，检测限0.01ppm，响应时间<30秒

7.火焰离子化检测器：型号FID-600，用于总烃检测，线性范围0.1-1000ppm

8.紫外荧光分析仪：型号UVF-700，测量SO2和H2S，检测限≤0.05ppm

9.化学发光分析仪：型号CL-800，用于氮氧化物和氨检测，精度±1%

10.热导检测器：型号TCD-900，用于氢和氦分析，灵敏度高，适用于高纯气体

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"电子级气体纯度检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。