硅烷电子级杂质检测

检测项目

1.金属杂质浓度：铁含量≤0.1ppb，铜含量≤0.05ppb，钠含量≤0.2ppb，使用ICP-MS方法检测

2.水分含量：水分子浓度≤1ppm，露点温度≤-76°C，采用电容式湿度传感器测量

3.颗粒物检测：颗粒尺寸≥0.1μm，颗粒数量≤10particles/mL，通过激光粒子计数器分析

4.非金属杂质分析：碳含量≤0.5ppm，氧含量≤2ppm，氮含量≤1ppm，使用燃烧红外吸收法

5.氯离子含量：氯浓度≤0.1ppm，离子色谱法检测，精度±0.01ppm

6.总有机碳：TOC值≤0.3ppm，高温催化氧化法测量，偏差±0.05ppm

7.硅烷纯度：主成分硅烷纯度≥99.9999%，气相色谱法分析，保留时间一致性检查

8.氢化物杂质：砷化氢≤0.01ppb，磷化氢≤0.02ppb，采用GC-MS联用技术

9.挥发性有机物：VOCs总量≤0.5ppm，热脱附-GC-MS方法，检测下限0.1ppm

10.放射性杂质：α和β射线活度≤0.1Bq/kg，闪烁计数器测量，符合核级标准

11.颗粒分布均匀性：粒径分布D50值0.5μm，跨度≤1.5，激光衍射分析

12.热稳定性测试：分解温度≥300°C，热重分析仪测量，升温速率10°C/min

检测范围

1.高纯硅烷气体：用于半导体沉积工艺，纯度要求≥99.9999%，重点检测金属杂质和水分

2.电子级硅烷液体：液态储存形式，检测挥发性有机物和颗粒物，确保无contamination

3.光伏用硅烷：太阳能电池制造，关注碳含量和氧含量，以保障光电转换效率

4.半导体外延硅烷：用于外延生长层，严格监控氯离子和氢化物杂质

5.硅烷衍生物：如硅烷偶联剂，检测有机杂质和总有机碳，适用于复合材料领域

6.超纯硅烷forMEMS：微机电系统应用，强调颗粒物和放射性杂质控制

7.硅烷for显示面板：OLED和LCD制造，检测水分和VOCs，防止显示缺陷

8.医药级硅烷：用于药物封装，要求生物兼容性，检测所有杂质限值

9.research-grade硅烷：实验室研究用，侧重于纯度验证和热稳定性

10.工业级硅烷提纯后：从工业级纯化而来，监控所有参数以确保电子级标准

11.硅烷混合物：与其他气体混合，检测交叉污染和成分一致性

12.定制硅烷formulations：特定应用配方，全面杂质分析和性能测试

检测方法

国际标准：

ASTMD6357-19电感耦合等离子体质谱法测定硅化合物中痕量金属

ISO14644-1:2015洁净室及相关受控环境颗粒物浓度分级

ASTME29-22标准实践用于使用有效数字确定符合规范

ISO8573-8:2019压缩空气颗粒物和水分含量测试

ASTMD1193-23试剂水规格用于高纯度分析

ISO17294-2:2023水质电感耦合等离子体质谱法应用

ASTMD5466-21高纯度气体中水分含量测定电容法

ISO21087:2021气体分析杂质测量方法总则

ASTMF312-20微电子用高纯气体中颗粒物检测

ISO14644-2:2022洁净室测试和监测要求

国家标准：

GB/T14634-2021电子工业用高纯气体杂质检测方法通则

GB/T38523-2020工业气体中颗粒物测定光散射法

GB/T3634.1-2021氢气中杂质含量测定气相色谱法

GB/T8979-2021纯氮中杂质含量测定

GB/T10247-2021气体分析水分测定电解法

GB/T14850-2021工业用气体化学分析通则

GB/T16945-2021电子级水规格和试验方法

GB/T19199-2021高纯硅烷技术条件

GB/T20245.1-2021电导率测量方法用于高纯水

GB/T20975.25-2020铝及铝合金化学分析方法扩展至硅化合物

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：型号ICP-MS-5000，检测元素下限至0.01ppt，用于金属杂质分析

2.气相色谱-质谱联用仪：型号GC-MS-8000，VOCs和有机杂质检测，分辨率0.1amu

3.激光粒子计数器：型号LPC-200，颗粒物尺寸范围0.1-10μm，计数精度±5%

4.电容式水分测定仪：型号MOIST-100，水分测量范围0.1-1000ppm，精度±0.1ppm

5.离子色谱仪：型号IC-3000，阴离子检测如氯离子，下限0.01ppm

6.总有机碳分析仪：型号TOC-600，高温催化法，测量范围0.1-1000ppm

7.热重分析仪：型号TGA-400，热稳定性测试，温度范围室温至1000°C，精度±0.1°C

8.闪烁计数器：型号RAD-700，放射性活度测量，检测下限0.01Bq/kg

9.激光衍射粒度分析仪：型号LDA-900，颗粒分布分析，尺寸范围0.01-2000μm

10.高纯气体采样系统：型号GAS-SAMPLER-100，无污染采样，用于硅烷气体提取和分析

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"硅烷电子级杂质检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。