检测项目
1.微观形貌观察:颗粒形态,表面粗糙度,孔隙分布。
2.晶体结构分析:晶型判定,取向分析,晶格常数测定。
3.相组成鉴定:相区识别,第二相分布,相变特征。
4.缺陷表征:位错密度,层错分析,空洞与裂纹识别。
5.元素定性分析:元素种类识别,杂质检出,痕量元素判断。
6.元素定量分析:元素含量测定,配比计算,富集程度评估。
7.元素面分布:元素面扫描,均匀性评价,富集区定位。
8.元素线分布:元素线扫描,扩散界面识别,梯度变化评估。
9.晶粒特征:晶粒尺寸,晶界类型,晶粒取向差。
10.涂层结构:涂层厚度,界面结合,层间缺陷。
11.断口分析:断裂形貌,起裂源定位,断裂机制判定。
12.污染与夹杂:夹杂物类型,污染源识别,分布特征。
检测范围
金属合金薄片、金属粉末、陶瓷烧结体、氧化物薄膜、半导体晶片、复合材料截面、涂层试样、焊点截面、矿物颗粒、玻璃碎片、催化剂载体、碳材料薄片、聚合物填料、粉末冶金样品、腐蚀产物、纳米颗粒、界面扩散层、断裂试样、沉积薄膜、增材制造样品
检测设备
1.扫描电镜:获取表面形貌与微区结构信息,支持高分辨成像。
2.透射电镜:观察内部微结构与晶体缺陷,提供高分辨透射成像。
3.电子衍射系统:测定晶体结构与取向,获取衍射斑点信息。
4.能谱分析仪:进行元素定性与定量分析,覆盖微区成分检测。
5.样品制备离子研磨仪:制备薄片与截面,减少制样损伤。
6.超薄切片机:制备超薄样品,满足透射观察需求。
7.真空镀膜仪:在样品表面镀导电层,提升成像稳定性。
8.微区定位平台:实现微区精准定位与重复测量,提高测试一致性。
9.元素面扫描系统:获取元素分布图,分析均匀性与富集区。
10.数据处理工作站:对图像与谱图进行处理与定量计算,生成分析结果。